微纳光电成像测试系统是一种利用显微成像手段，通过不同波长激光进行探测，分析表征光电子器件的短路电流分布，表面缺陷， 反射率等参数。并通过扫描获得的图像，分析各种参数的平面均匀性，为光电器件的结构优化提供参考。激光通由显微镜聚焦到样品表面，激光激发样品产生光电流，光电流信号通过探针引出至电流源表，再通过软件读出。扫描时，通过电动位移台的移动，激光的光斑在样品的 XY 方向上扫描移动， 软件记录每一个激光聚焦光斑的位置和其对应的电流值，在软件上同步描绘出光电流成像图，显示了样品的电流分布。
技术参数
| 激光器（光源） | 标配532nm激光器，能量稳定性1%@4小时 |
| 显微镜模块 | 反射式/透射式LED照明 物镜：标配（20X， WD=7.5mm） 超长工作距离 ZD扫描范围：260 x 200 μm （20x物镜下） 位置重复性：小于1 μm 最小扫描步长：0.2μm 激光光斑：2μm |
| 数据采集 | 电流源表：Keithley 2450 测量范围：1nA ・ 1A 暗噪声：50pA 分辨率：20fA |
| 探针台模块 | 直径65mm真空吸附卡盘 探针座和样品整体二维移动，样品位置单独二维移动，样品位置移动行程25mm，分辨率5μm 探针座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm 探针：钨针，直径5μm，10μm，20μm可选 |
| 软件 | 光电流扫描（Mapping）：可以设定固定的电压，逐点获取电流值 I-V曲线扫描（Mapping）：可以设定指定的电压区间，逐点获取I-V曲线 指定区域扫描（Mapping） |
| 光谱响应度测试（选配） | 光谱范围200-1100nm，可以扩展到2500nm 光谱响应度曲线 量子效率曲线 偏压设置功能 |
| 激光器（选项） | 波长：405nm或者635nm可选，其他波长咨询销售 能量稳定性：小于1%@2个小时 功率：10mW和30mW（可选） |
测试案例：
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