上海波铭科学仪器有限公司
上海波铭科学仪器有限公司

SIRM红外体微缺陷分析仪

Capability:

  • 无需制样
  • 最小测试缺陷尺寸10nm
  • 测试缺陷浓度范围:105-109cm-3
  • 可做外延片测试
  • 测试样品ZD尺寸300mm

SIRM是非接触和非破坏型光学检测设备，对体微缺陷，如氧化物和金属沉淀，位错、堆垛层错，体材料中的滑线和空隙等进行测试。

上海波铭科学仪器有限公司

仪器网(yiqi.com)--仪器行业网络宣传传媒

网站导航