上海波铭科学仪器有限公司
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反射谱成像技术

Capability:

  • 最小0.1μm光斑尺寸进行监控
  • 波数测试范围从20到100cm-1
  • 椭偏和iSR同步测试，可以获得二维高分辨厚度图谱

iSR是一种微光斑测试技术，用于实时刻蚀和Halftone工艺中的厚度测试。
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