WT-2000半导体多功能测试

· Measurement Options.
· μ-PCD 技术做少子寿命扫描测试
· 表面光电压(SPV)做扩散长度面扫描测试
· 光诱导电流(LBIC)测试材料缺陷分布
· 测试特定金属杂质和沾污:Fe
· 涡流法测试电阻率
· 4探针测试电阻率