SH系列双面点针探针台-上海波铭科学仪器有限公司

详细信息

产品特点：

双面点针探针台可用于晶圆和PCB板测试，用于需要正面和背面同时扎针，以实现各种光/电性能测试需求的测试设备。该定制探针台具有优良的机械系统，稳定的结构，符合人体工程学，以及多项升级功能。可广泛应用于集成电路、Wafer ，LED LCD、太阳能电。

产品优势：

可同时完成DC和RF测试大手柄双驱动，省时，省力，省心双光路系统，上光路可升级加载光电流系统。

型号技术参数		SH-6	SH-8	SH-12
台体	整机尺寸（mm）	700mmL700mmW720mmH	750mmL750mmW720mmH	880mmL880mmW720mmH
	重量	85kg	100kg	160kg
	卡盘大小	6" ,360 度转动, 可微调	8"，360 度转动，可微调	12"，360 度转动，可微调
	卡盘行程和精度	6"*6"，精度10um	8"*8"，精度10um	12"*12"，精度 10um
	卡盘材质	高透射玻璃或者镂空
	固定方式	机械式压片固定，尺寸可调
	卡盘升降功能	Chuck可以上下快速升降5mm和微调升降6mm，精度1微米
	可选附件	射频校准台；chuck 360度快速移动；探针座平台升降；加热等
针座平台	类型	双面点针平台，单个平台最多可放置8个DR/L-100探针座
	材质	U型平台，镀镍，与探针座之间具备更强吸附力，带接地端子
正面光学系统	倍率范围	16X~100X/60X~420X/20X~4000X
	显微镜行程	具备高刚性龙门架结构，XYZ行程分别为2英寸2英寸2 英寸，精度1um
	CCD 成像系统	200 万/500 万像素，帧率 60fps，带拍照、录像、测量功能
背面光学系统	显微镜类型	L型单筒显微镜
	连续变倍比	0.75X~5X
	倍率范围	40X~280X（可选高倍物镜增加倍率）
	CCD 成像系统	200 万/500 万像素，帧率60fps，带拍照、录像、测量功能
探针座	类型	DR/L-200m/V和DR/L-100m/V
	X-Y-Z 行程	12.5mm-12.5mm-12.5mm
	机械精度	0.5um/0.7um
夹具	漏电精度	10pA/100fA
	接口形式	香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口/SMA /裸线等
	选件	屏蔽箱/防震桌/射频探针卡/光电流显微镜/大功率