M-HP-X系列高精密电动平移台

型号

M-HP-50-A-X

M-HP-100- A-X

M-HP-150- A-X

M-HP-200- A-X

M-HP-300- A-X

M-HP-400- A-X

M-HP-800- A-X

M-HP-1000- A-X

行程(mm)

50

100

150

200

300

400

800

1000

滚珠丝杠导程 (mm)

4

5

闭环分辨率 (μm)

1

8细分开环分辨 率(μm)

2.5

3.125

ZD速度 (mm/s)

40

50

重复定位精度 (μm)

＜3

回程间隙(μm)

＜5

偏摆(“)

＜15

＜20

＜25

＜30

-

俯仰(“)

＜20

＜25

＜30

＜40

-

运动直线度 (μm)

＜10

＜12

＜15

＜20

<50

<60

运动平直度 (μm)

＜10

＜12

＜15

＜20

<50

<60

步进电机(步 距角)

42(1.8°)

57(1.8°)

工作电流(A)

1.7

2.4

ZX负载(Kg)

30

50