SMEE 300系列光刻机 —— LED、MEMS、Power Devices

产品介绍：

SMEE 300系列光刻机 —— LED、MEMS、Power Devices

SSB300系列步进投影光刻机面向6英寸以下中小基底光刻应用领域，满足HB-LED、MEMS和Power Devices等领域单面或双面光刻工艺需求。

产品特征

● 高分辨率，分辨率可达0.8μm

● 高速在线MAPPING技术

● 多尺寸基底自适应切换

● 高产能

● 高精度套刻

● 完 美匹配ALIGNER

主要技术参数