ALICAT气体质量流量计62A

测量范围: 0-100scccm/0-20SLM准确度: 精度：±（0.4%Rd+0.2%Fs）/精度：±（0.8%Rd+0.2%Fs）介质温度: 使用温度：-10 ~ 50℃工作压力: 475-825mmHg(633-110kpa)管径范围: /