跨尺度微纳加工技术的概述

       跨尺度微纳加工技术是指加工形成的部件或结构本身的尺寸在微米或纳米量级，正是微纳米加工技术的发展促进了集成电路的发展,导致集成电路的集成度以每18个月翻一番的速度提高.

       跨尺度微纳加工技术往往牵涉材料的原子级尺度。纳米技术是指有关纳米级(0.1-100n m)的材料、设计、制造、测量、控制和产品的技术。

       跨尺度微纳加工技术是科技发展的一个新兴领域，它不仅仅是关于如何将加工和测量精度从微米级提高到纳米级的问题，也是关于人类对自然的认识和改造如何从宏观领域进入到微观领域。

      跨尺度微纳加工应用领域

1.光刻技术替代者

2.集成电路领域

3.光学领域

制作高密度亚波长光栅，应用在金属起偏器上，制备光子晶体等。

4.存储领域

采用热压印技术制备高密度光盘位存储器

5.生物领域