日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器产品简介：

质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量，但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响，如需准确测量，需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量，是利用测量气体的质量，而质量是不受外界的环境的影响，从而可以提供高精度流量检测和控制，且在半导体制造制程有广泛的使用。

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器产品特点：

它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。

1.适用于高温：可满足150℃烘焙

2.产品阵容中有可满足使用温度的产品型号

3.超清洁类型：接气部全不锈钢构造

4.适于MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制

我们会努力按照原厂技术参数翻译编辑，如技术参数中英文有差异，以英文参数为准。

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器技术参数：

SEC-8340SL 搭载有主体加温加热器
气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范围	2?9?1100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程)  使用温度：80?9?1100℃

 

SEC-8340SM 本体加温ヒータ搭載
气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范围	2?9?1100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程)  使用温度：100?9?1120℃

 

SEC-8440LSL
气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范围	2?9?1100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程)  使用温度：15?9?135℃

 

SEC-8450LSL
气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	10/20 SLM
流量控制范围	2?9?1100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程)  使用温度：15?9?135℃

 

SEC-8455LSL
气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	30/50 SLM
流量控制范围	2?9?1100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程)  使用温度：15?9?135℃

 

SEC-8460LSL
气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	50/100 SLM
流量控制范围	2?9?1100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程)  使用温度：15?9?135℃

 

SEC-8440LSM
气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范围	2?9?1100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程)  使用温度：35?9?160℃

 

SEC-8450LSM
气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	10/20 SLM
流量控制范围	2?9?1100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程)  使用温度：35?9?160℃

 

SEC-8455LSM
气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	30/50 SLM
流量控制范围	2?9?1100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程)  使用温度：35?9?160℃

 

SEC-8460LSM
气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	50/100 SLM
流量控制范围	2?9?1100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程)  使用温度：35?9?160℃

 

SEC-8440LSH
气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范围	2?9?1100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程)  使用温度：60?9?180℃

 

SEC-8450LSH
气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	10/20 SLM
流量控制范围	2?9?1100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程)  使用温度：60?9?180℃

 

SEC-8455LSH
气体接触部材质	SUS-316L
阀门类型	NO: 非通电时：开
标准流量量程	30/50 SLM
流量控制范围	2?9?1100％ F.S.(满量程)
流量精度	±1.0％ F.S.(满量程)  使用温度：60?9?180℃