日本Horiba S500气体质量流量控制器适用于过程控制中在线实时的气体流量的准确测量和控制。
日本Horiba S500气体质量流量控制器产品简介：
S500热式质量流量控制器能够在较大的量程范围内在线实时地准确控制气流质量流量。利用气流流过不锈钢毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量;不同于测压力或测体积方法等类别流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。上下游温差测量电路信号实时反映气流瞬时流量，并通过PID电路实时控制比例电磁阀而准确控制流量，所以特别适用于过程控制中在线实时的气体流量的准确测量和控制。
S500系列产品广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。
日本Horiba S500气体质量流量控制器产品特点：
具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。气阻较小，工作压力范围宽。
阀体采用不锈钢(316L)结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。线路板、阀体、弹簧片、精致电阻和电容等为重要零部件，均执行严格的入厂标准。
可任意角度安装。
电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合工作。
日本Horiba S500气体质量流量控制器技术参数：
项目 | S500 (规格Type AR111) |
外部密封 | 氟橡胶 |
接触气体材料 | SUS316L,氟橡胶,磁性不锈钢 |
调节阀类型 | 非通电时常闭 |
满量程流量(N2换算流量) | 10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min |
流量控制范围 | 2%～100%F.S. (0.1～5V DC) |
流量测量范围 | 0～100%F.S. (0～5V DC) |
响应时间（输出电压） | 1秒 (保证 1.5秒以内T98) |
工作环境温度 | 5～45℃ (精度保证 15～35℃) |
流量精度 | ±1.0%F.S |
线性 | ±0.5%F.S. |
重复性 | ±0.2%F.S. |
工作压差 | 10mL/min～5L/min :50～300kPa(d) |
很大工作（使用）压力 | 300kPa(G) |
耐压 | 3MPa(G) |
泄漏率 | 1×10-8Pa?1?1m3/s(He)以下 |
流量设定信号 | 0.1～5VDC(2%～100%F.S.) |
流量输出信号 | 0～5VDC(0%～100%F.S.) |
供电电源 | +15V±5% 100mA以下 |
管路接头 | 1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR |
安装角度 | 任意 |
电气接头 | D-Sub 15pin |
输入输出阻抗 | 输入：1MΩ以上 输出：3mA以下 |
附加功能 | Auto-zero、Auto-close |
满量程流量50mL/min一下的响应时间为2S以内
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