成都纽曼和瑞微波技术有限公司
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成都纽曼和瑞微波等离子体CVD设备hmps-2060sp


成都纽曼和瑞微波技术有限公司是专业从事微波能、微波等离子体应用技术研发及其设备生产、具有自主知识产权的高新技术企业。公司近年已为中科院、中物院、吉林大学、南京大学、四川大学等、宁波晶钻公司、北京沃尔德公司等科研院所、知名企业以及国外客户提供了近百台MPCVD设备,凭借产品优异的性能和高质量的服务,公司获得用户广泛认可和好评。

产品特点

◆第三代高稳定固态功率源;上馈式圆柱型放电腔;
◆性能先进,安全、可靠性强、重现性好,操作简便。
◆多参数实时监测、采集与记录,PLC屏幕控制,多重联锁保护。

应用范围

◆高品质单晶金刚石、多晶金刚石的批量生长。
◆多种薄膜的CVD制备、材料表面处理和改性、低温氧化物的生长等。
◆适合光学、电子、工具级金刚石膜或单晶、石墨烯等的产业化生产,材质表面处理、低温氧化物的生长等。


性能先进,安全、可靠性强、重现性好,操作简便。
多参数实时监测、采集与记录,PLC屏幕控制,多重联锁保护

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