NS3500激光共聚焦显微镜在晶圆行业的应用

韩国Nanoscope System NS3500是专门为低维材料研究所研发的一款高精度激光共聚焦显微镜。

采用405nm 紫罗兰激光作为光源，针孔共焦成像技术，PMT只接收焦点处的图像信号，非焦点的信号将会被全部隔绝，因此可以极大地提高图像的清晰度。NS3500采用类似于连续断层扫描的方法，在移动Z轴的同时获得一张张二维的光学切片，再通过特殊的算法将所有的二维切片构建成一张3D 图像。

NS3500在半导体，芯片，晶圆生产，涂层材料，PCB面板行业的产品检测等有着极大的作用。例如在晶圆生产行业，我们经常需要从一批材料中进行抽样检测，这时候无损伤检测就展示出了极大的优势。当我们使用普通的AFM检测晶圆的完整度时，我们需要首先将样品剖开再进行检测，这种方式检测速度慢，而且会造成极大的产品浪费。使用NS3500进行检测的时候只需要将样品放置在样品台上，然后将扫描头移动到焦点的位置进行测量就可以了，非常地快捷方便。

NS3500获得的半径为1.5um 的高清晰3D晶圆图像（下图所示），使用NSViewer数据分析处理软件我们可以获得晶圆的半径，高度等大量信息，对于晶圆的表面完整情况可以进行一次快速的分析。相较于AFM可以避免大量的资源及人工浪费，而且也不需要破坏样品.