Horos-小型光学粗糙度传感器
2023-12-0654德国Fraunhofer IOF 的Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量从微米级到亚纳米级的表面粗糙程度。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。
参数:
测量波长:650nm 灵敏度:ARS< 10-4sr-1,rms<0.5nm 工作距离:>10mm 测量时间:<1S 校准定量测量 紧凑尺寸:200×170×65mm3 可选配:与机械臂结合
应用:
将传感器直接集成到光学制造过程中进行质量控制,直接控制探测器矩阵(看曝光时间)和激光功率(手动和自动操作)
散射分布的实时视图
用于检测ARS和BRDF的自动化例程
图形化显示测量结果
对于抛光的不透明表面:根据散射数据计算均方根粗糙度(0 . 5 n m至2 0 n m )和粗糙度功率谱密度函数(空间带宽在0.02μm-1至0.2μm之间)
数据导出(ASCII和JPG)
上一篇:一元复始,万象更新