高纯硅纯度标准物质

Purity of High Pure Silicon

本标准物质是以天然硅为原料，主要用于高纯硅的纯度分析校正，检验纯度分析方法的可靠性， 保证硅标准物质溶液制备原料纯度的可靠性和溯源性，用以提高硅标准物质溶液浓度定值和硅含量分析的技术水平，满足化学计量和高纯硅纯度分析等领域的需求。

一、样品制备

选取杂质分布均匀的高CTR硅片，均匀性初检合格后用洁净、带盖的塑料盒分装。

二、溯源性及定值方法

定值前，样品按规定步骤进行清洗，再进行称量。采用辉光放电质谱法（GDMS）、惰性气体熔融-红外热导法、燃烧红外法等多种方法对其中的 94 种杂质含量进行测量，重量扣除后得到硅的化学纯度。方法的准确度通过国际比对 CCQM-P149（锌纯度测定）进行了验证，并通过使用满足计量学特性要求的测量方法和计量器具，保证标准物质特性量值的溯源性。

三、特性量值及不确定度

硅纯度认定值的不确定度评定涵盖了全部测量流程，包括校正样品、称重、空白、所使用标准物质等方面引入的不确定度，以及该标准物质的不均匀性和不稳定性引入的不确定度。

硅化学纯度量值为：（99.9995 ± 0.000003）%，k=2；硅中杂质元素含量（参考值）见附表。

四、均匀性检验及稳定性考察

按照 JJF1343-2012《标准物质定值的通用原则及统计学原理》要求，对该标准物质随机抽样进行均匀性检验和稳定性监测。用 F 检验法进行样品的均匀性检验；用平均值一致性检验法进行样品的稳定性检验。检验中使用与定值方法相同的测量方法进行铜纯度的测量，最小样品取样量为 0.2 g。

检验结果表明该标准物质均匀性和稳定性良好。该标准物质自定值日期起，有效期为 5 年，研制单位将持续跟踪监测该标准物质的稳定性，如发现量值变化，将及时通知用户。

五、包装、储存及使用

本标准物质的包装为塑料盒，每盒一片(f 40 mm´4 mm)，室温保存。样品使用前需进行清洗， 具体步骤为：1.用甲醇超声清洗 3 分钟，用纯水清洗 4 次，用混合酸（硝酸+氢氟酸：1+6）超声清洗 2.5 分钟，用纯水清洗 4 次，用纯水超声清洗 3 次，每次 1 分钟；用甲醇清洗 2 次，凉干待用。

声明

1．本标准物质仅供实验室研究与分析测试工作使用。因用户使用或储存不当所引起的投诉，不予承担责任。

2．收到后请立即核对品种、数量和包装，相关赔偿只限于标准物质本身，不涉及其他任何损失。

3．仅对加盖“ZG计量科学研究院标准物质专用章”的完整证书负责。请妥善保管此证书。

4．如需获得更多与应用有关的信息，请与技术咨询部门联系。

附表 高纯硅中杂质元素含量参考值（mg/kg）

元素	测量方法	量值	u	元素	测量方法	量值	u	元素	测量方法	量值	u
H	2	< 0.09	0.05	Se	1	< 0.0010	0.0005	Tb	1	< 0.0010	0.0005
He	4	< 0.001	0.0005	Br	1	0.003	0.006	Dy	1	< 0.0010	0.0005
Li	1	< 0.0010	0.0005	Kr	4	< 0.0010	0.0005	Ho	1	< 0.0010	0.0005
Be	1	< 0.0010	0.0005	Rb	1	0.004	0.008	Er	1	< 0.0010	0.0005
B	1	0.002	0.004	Sr	1	< 0.0010	0.0005	Tm	1	< 0.0010	0.0005
C	3	2.21	0.94	Y	1	< 0.0010	0.0005	Yb	1	< 0.0010	0.0005
N	2	< 0.86	0.43	Zr	1	< 0.0010	0.0005	Lu	1	< 0.0010	0.0005
O	2	1.49	0.29	Nb	1	< 0.0010	0.0005	Hf	1	< 0.0010	0.0005
F	1	0.008	0.016	Mo	1	< 0.0010	0.0005	Ta	1	< 0.0010	0.0005
Ne	4	< 0.0010	0.0005	Tc	1,4	< 0.0010	0.0005	W	1	< 0.0010	0.0005
Na	1	0.027	0.054	Ru	1	< 0.0010	0.0005	Re	1	< 0.0010	0.0005
Mg	1	< 0.0010	0.0005	Rh	1	< 0.0010	0.0005	Os	1	< 0.0010	0.0005
Al	1	< 0.0010	0.0005	Pd	1	< 0.0010	0.0005	Ir	1	< 0.0010	0.0005
P	1	0.002	0.004	Ag	1	0.003	0.006	Pt	1	< 0.0010	0.0005
S	3	< 1.5	0.75	Cd	1	0.002	0.004	Au	1	0.003	0.006
Cl	1	0.080	0.16	In	1	0.002	0.004	Hg	1	< 0.0010	0.0005
A r	4	< 0.0010	0.0005	Sn	1	0.002	0.004	Tl	1	< 0.0010	0.0005
K	1	0.013	0.026	Sb	1	< 0.0010	0.0005	Pb	1	0.001	0.002
Ca	1	0.008	0.016	Te	1	< 0.0010	0 北京北方伟业计量技术研究院 仪器网(yiqi.com)--仪器行业网络宣传传媒 网站导航 公司首页 公司简介 公司新闻 产品文章 产品中心 全部分类 解决方案 技术资料 视频资料 资质证书 联系我们 访客留言 选购仪器 上yiqi.com 仪器网络推广 品牌网上传播 长按识别二维码查看信息详情