享受高达每分钟7,000埃的快速剥离速度，同时实践对工程师和操作员而言更安全的绿色制造。无需有毒化学物质，RFS系列可为各种应用提供较低的拥有成本和灵活的等离子功率设置。此外，RFS系列提供精确的温度控制，以实现均匀，可重复的结果。下游过程不提供等离子体充电。当准备好进行大规模生产时，您可以无缝过渡到我们的大批量自动化EcoClean系统。
强大的清洁功能可去除光致抗蚀剂，聚酰亚胺和BCB；
具有温和的Descum功能
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