NX-2600-全晶圆片

产品概述

NX-2600整片基板带对准可多层次纳米压印加高分辨率光刻系统经过了 大量的实时实地验证，质量可靠，性能优越稳定。具备全部压印模式： 热固化、紫外固化和压印。基于独特ZG保护的Nanonex气垫软压技术 （ACP），不论模版或基板背面粗糙程度如何，或是模版或基板表面波 浪和弧形结构，NX-2600均可对其校正补偿从而获得无与伦比的压印均 匀性， ACP消除了基板与模版之间侧向偏移，有效地延长了模版使用 寿命。通过微小热容设计可获得快速的热压印周期，ZZ得到快速的工 艺循环。

所有形式的纳米压印
 热塑化
 紫外固化
 热压与紫外压印同时进行
 热固化
气垫软压技术(ACP)
 NanonexZG技术
 WM的整片基板纳米压印 均匀性
 高通量
低于10nm分辨率
亚1微米正面对准精度
背面对准可选项
快速工艺循环时间（小于60秒）灵活性
 4″, 6″, or 8″压印面积可选  各种尺寸及不规则形状模
板与基板均可压印 
方便用户操作
基于超过12年、15代产品开发 经验的自动化压印操作
Nanonex压印系统经过大量实 时实地验证，质量可靠，性 能优越稳定
全自动纳米压印

技术参数

热塑压印模块
 ● 温度范围0～250oC
 ●加热速度>300oC/分钟
 ●制冷速度>150oC/分钟
 ●压力范围0 ～ 3.8 MPa（550 psi）
紫外固化模块
 ● 200W窄带紫外光源
 ●365纳米或395纳米波长可选
 ●全自动化控制
对准模块
 ●X, Y, Z, Theta平台
 ●分场光学和CCD相机

基板装载
● 标配纳米压印系统可装载4″基板
● 6″和8″基板可选
● 各种尺寸及不规则形状模板及基
板均可压印
 ●独特ZG保护ACP技术可最大限度保护基板和模板，特别对于象 磷化铟（InP）等极易碎模板和 基板给予最大限度保护。
光刻
● 标配5”模板，标配4”直径基板
● 其他尺寸可以提供
● 500瓦紫外水银灯光源