英国SPTS 蒸发HF刻蚀 SPTS UEtch

通过无水乙醇的催化作用，HF气体与SiO2反应生成可挥发的产物SiF4和气态H2O，并通过真空排风抽走。整个反应过程不生成液态水，避免了液体对悬空微纳结构的粘连，从而可以成功释放悬空的微纳米结构。主要用于悬臂梁及其他悬空微纳米结构和SiO2牺牲层的释放刻蚀。