美国KLA-Tencor Profiler 探针式台阶仪

KLA-Tencor先进的探针式台阶仪，可精确测量纳米级 至2毫米台阶高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力，集高测量精度、多功能性和经济性于一体，是生产线及材料分析等应用领域的理想选择。