徕卡高真空镀膜仪-Leica EM ACE600概述
Leica EM ACE600 是一款高真空镀膜仪,真空泵采用隔膜泵和涡轮分子泵,无油真空系统,真空度可达2x10-6mbar。镀膜细腻均匀。内置石英膜厚检测器,可精确控制镀膜厚度。全自动电脑控制,自动完成抽真空、镀膜、放气等全过程,一键操作。采用当下触摸屏控制,简单方便。仪器可选离子溅射镀金属膜,满足高分辨场发射扫描电镜(FESEM)需求,可选碳丝蒸发镀碳膜,用于X-射线能谱及波谱分析,或者TEM铜网镀碳膜,还可以选择电子束蒸发方式镀膜,获得极其细腻的金属膜与碳膜,可用于DNA投影等特殊用途。
徕卡高真空镀膜仪-Leica EM ACE600性能
• 重现的结果:运行全自动化过程,辅以参数和协议设置。集成的石英测量和自动化3轴载物台移动
• 小巧紧凑:设计紧凑,占地面积小节省了实验室空间
• 容易清洗:可拆卸的门、卷帘、内部屏蔽、来源和载物台,确保制备高质量样本的环境清洁
• 操作简便:直观的触摸屏,松推配合的连接器和免工具的目标变更,舒适的前门锁定
• 自定义配置:可满足不同的具体需求
• 低温镀膜:真空低温传输系统适应将室温镀膜机转换成低温镀膜机。样本能在低温下于受保护的环境中进行镀膜和传输
徕卡高真空镀膜仪-Leica EM ACE600技术参数
可任选离子溅射模式,碳丝蒸发镀碳模式,碳棒(热阻)蒸发模式,电子束蒸发模式,双溅射模式,溅射-碳丝模式,溅射-碳棒模式,溅射-电子束模式,双电子束模式,可兼容EM VCT100冷冻传输系统,可选辉光放电(用于网格表面亲水化) | |
脉冲式碳丝蒸发方式,可准确控制碳膜厚度 | |
内置石英膜厚检测器,准确控制镀膜厚度,精度达0.1nm | |
全自动程序控制,自动完成抽真空、镀膜、放气等过程 | |
触摸屏控制,简单方便 | |
采用隔膜泵+涡轮分子泵,无油真空系统,真空度≤2x10-6mbar | |
溅射电流:0-150mA可调 | |
方形样品仓,样品仓尺寸:200mm(宽)x150mm(深)x195mm(高) | |
样品台内置旋转,工作距离调节范围:30-100mm |
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