布鲁克光学轮廓仪ContourX-200-冠乾科技（上海）有限公司

详细信息

ContourX-200光学轮廓仪融合了高级表征、可定制选项和易用性，可提供快速、准确和可重复的非接触式三维表面计量方法。该设备作为可用于计量的小尺寸系统，配置了大视场的5百万像素摄像头和新型电动XY载物台，可提供高性能的的2D / 3D高分辨率测量功能。

ContourX-200还配有业界先进的操作和分析软件Vision64。VisionXpress™提供了更易于使用的界面和简洁的功能，可访问多种预编程滤镜和分析工具，用于精密加工的表面，薄膜，半导体，眼科，医疗设备，MEMS和摩擦学等领域的测量分析，可用于表面粗糙度，RDLxian进封装工艺厚度等测试。

测量与分析功能

·易于使用的界面，可快速准确地获得结果

·自动化功能用于日常测量和分析

·广泛的滤镜和分析工具选项，用于粗糙度和关键尺寸测量分析

·满足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等标准在内的定制化分析报告

先进计量设备

·基于超过四十年的专有WLI创新，ContourX-200光学轮廓仪展现出定量计量所需的低噪声、快速、精度的准确结果。

·通过使用多个镜头和集成的特征识别功能，设备可以在各种视野内以亚纳米垂直分辨率跟踪特征，可用于各种不同行业中的质量控制和过程监控应用。

·ContourX-200对于反射率从0.05％到100％的各种表面都非常易于测量。

高性能表面计量

·放大倍率无关的Z轴分辨率

·大尺寸的标准视场

·稳定集成防震设计

核心参数

仪器分类: 非接触式

产品优势

ContourX- 200光学轮廓仪完美融合了高级表征、可定制选项和易用性,可提供一流的快速、准确和可重复的非接触式三维表面计量方法。该设备作为可用于计量的小尺寸系统,配置了大视场的5百万像素摄像头和新型电动XY载物台,可提供高性能的的2D / 3D高分辨率测量功能。

1. 超强 LED 双光源，白光和绿光
2. 垂直测量范围： 0.1nm 至 10mm；为了保证测量精确性，全量程闭环扫描，可连续测量0.1nm 到 10mmZ 向起伏样品，无需缝合拼接
3. 垂直方向的分辨率：≤0.1nm；
4. RMS 测量的重复性：0.01nm；
5. 台阶高度测量准确性：≤0.75%；
6. 台阶高度测量重复性：≤0.1%；
7. 测量台：X-Y 行程 150mm×150mm，自动控制；Z 方向最大行程 100mm，自动控制; 测量台倾斜俯仰(±6°)；
8. 最大样品测试高度：100mm；
9. 采样点数：≥1280*960；
10. 真彩色模块，含彩色 CCD 摄像头和彩色分析模块，实现样品真彩色三维形貌测量。
11. 横向分辨率：≤0.5µm
12. 样品反射率：<0.05%至 100%；
13. 具备自动聚焦功能，自动调光强功能
14. 具有无缝拼接功能，专利设计螺旋拼接，可以提高拼接速度，节省测试时间。
15. 自动目镜切换系统，可选 1x，0.55x, 2x 目镜（至少选择一个镜头）
16. 5 孔自动物镜塔台（选配）
17. 白光干涉物镜 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x （至少选择一个镜头）
18. 真彩色模块信号采集系统，分辨率 1280*960
19. 配备超光滑 Si-C 样品和带 8um 台阶样品