3 个型号(1、2、3 型)各自有 5 级放大倍率,可满足不同视场及倍率要求;
较长的工作距离(50 毫米),可以满足测量对工件高度方向的空间要求;
高达15倍的变焦比,可以满足低倍大视场搜索和高倍精密测量两方面的需求。与无级变焦机构相比,采用5段、定倍自动变焦机构可以使测量更加快速、准确;
高速、高精度 TTL 激光自动对焦功能。
(但VMR-1515的Performa 型,仅有影象自动对焦功能,无激光自动对焦功能。)
应用领域:
半导体封装、印刷电路板、冲压件、注塑件、连接器及各种小零件,如钟表元件等。
Z120X型(带高倍头)
光学放大倍数zui高可达120X,能够测量微距线宽;
高精度 TTL 激光自动对焦装置,具有激光光束细、光斑小的特点,支持精细激光扫描测量;
特别适合经过精细加工的小型精密零件的测量;
可选配表面形貌分析软件(Bird's-Eye View),用来显示 MEMS 部件的三维表面形貌。
应用领域:
小型高密度印刷电路板、小型精密模具、半导体封装(二维+高度),MEMS 部件等。
LU 型(通用反射照明器 / 电动物镜转换器)
光学头采用尼康著名的CFI60光学系统,可以使用尼康 CFI60 LU 全系列显微物镜;
具有明场、暗场、DIC、简易偏光等显微观察方式;
配备电动通用五孔物镜转换器;
可装备带有玻片厚度修正功能的、专门用于液晶板观测的尼康CF IC LCD Plan CR系列物镜;
易于使用的软件,可控制系统所有功能。
应用领域:
小型液晶显示器、有机EL面板、直径在150 毫米以内的硅片等。