小型热蒸发镀碳仪

TZZD-1000C热蒸发镀碳仪说明书

特点：

1.热蒸发仪是将碳绳链接在真空中的两个电极上，为了避免碳在空气中加热燃烧；

2.特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈，可保证长期使用不会出现影响样品蒸镀/溅射室的玻璃钟罩“崩边”现象；

3.密封高压头更经久耐用。低真空 4*10-2mbar时用真空保护（标准机型为结构密封）。

4.碳绳这时候相当于白炽灯的灯丝。“灯丝”的温度随着交流电压的加大而升高。当达到 3000℃ 以上，开始白炽发光的时候，大量的碳原子从"灯丝"表面向任意方向发射。把样品放在灯丝附近，在样品表面可以形成致密的碳膜。

5.为了使得样品不至于被高温灼烧，蒸碳在瞬间完成（通过调节旋钮延长保护时间）。

使用说明书并非质量保证书，信息有谬误支出欢迎更正指导；产品的改进，均由本公司随时做出解释，修正内容将编入再版使用说明书中。

一、.使用注意事项

■请确保电源插座接触良好并且保证有可靠接地！

虽然热蒸发镀碳仪的平均电流不大，但瞬时工作电流可能相对较高。

■请确保蒸发镀碳仪的工作电压稳定、正常！

我公司标准产品的工作电压范围为 ：210V~250V

■电源频率不匹配会导致仪器损坏！

仪器的使用频率为 50HZ。

■禁止私自对仪器进行拆卸改装！

本产品为精密仪器，拆卸不当可能发生真空系统漏气、设备短路等情况，造成仪器损坏和人员伤亡。

■蒸碳仪在不工作时不要让真空室一直处于真空状态！

真空室一直处于真空状态，真空泵进气口处于负压，使得泵油倒灌样品室。

注意：本产品为精密设备，请勿让非专业人士操

作，使用过程中操作人员不得离开现场

二、外形及部件名称（随机变化略有不同）

前面板

1.真空表，2.电流表，3.启动按钮， 4.真空指示灯，5.转换开关，6.延时旋钮，7.电源，

样品室：（可换装碳棒电极）

1.保护帽，2.上盖，3. “凹”型密封圈，4.石英钟罩，5.碳绳电极，6.挡板，7.底座

后面板

1.电极，2.真空泵电源，3.接地端子，4.过流保险，5.220V电源,6.短路指示灯，7.挡板

泵和真空管道

1过滤器，2.电磁阀接头，3.真空泵排气口卡箍，4.真空泵加油口，5.真空泵放油口，6.真空泵进气口卡箍，7.自动开关，8.真空管

三、安装说明

仪器的安装                   

1、打开包装，检查仪器是否完好，附件是否齐全

2、清理样品室，检查样品室中是否有异物、粉尘，并清理干净。

3、把油污过滤器安装在泵的出气口，并用 卡箍卡紧。

4、连接真空管道，将 KF16端接仪器，另一端接泵的进气口，并用卡箍卡紧。

5、将电磁阀的电源线和泵的引出端对插到一起。

6、把泵电源插在主机后面板的泵电源插座上。

7、将蒸发上盖的蒸发公共端 B、蒸发 A、蒸发 C按颜色对应接在主机后面板的接头上。

8、将玻璃钟罩放在主机的底盘上，将热蒸发上盖放在主机的玻璃钟罩上。

9、将总电源线插上。

10.碳绳的更换

1.BA段碳绳，2.BC段碳绳，通过转换开关选择

用六角扳手将上盖的三个内六角螺钉拧松，将碳绳按照ABC的顺序依次缠绕在卡槽中，分别拧紧螺钉，将碳绳剪断即可。

四、技术规格说明

样品仓尺寸：φ150mmX110mm

蒸发面积：约Φ140mm

真空度：≤4×10-2mbar

工作电压：220V,50HZ

蒸发输出：电压30V

蒸发靶材：碳棒、碳绳

蒸发电流：约100A

五、经验分享

理想膜层的特点

1.良好的导热和导电性能。

2.不管样品的表面形貌如何，覆盖在所有部位的膜层需要薄厚均匀。

3.膜层对样品的化学成分干扰很小，对从样品中发射的X射线强度影响很弱。

4.这层膜主要增加样品表面的导电性能和导热性能，相较于导电金属膜层的厚度普遍在10nm以上；可提供碳的镀层，在3-4nm分辨率尺度内不显示其几何形貌特点，避免引入不必要的人为图像，镀层精细均匀，适合非常粗糙的样品，高分辨研究。

5.可以喷碳（碳棒或碳绳），有利于对样品中非碳元素的能谱分析。

6.非导电样品观察背散射电子图像，进行EBSD分析，也应该喷碳处理。

注意：热蒸发功能容易对样品产生污染，蒸发温度过高（例如碳的蒸发温度为3500K)，会损伤热敏感材料。

7.真空蒸发镀层厚度可以通过下面公式进行估算:

T=3/4(M/4πR2ρ)cosθ×10-7（式中2和-7为指数）

其中:

T(nm)为蒸镀层的厚度；

M(g)为蒸发材料的总质量；

ρ(g/cm3)为蒸发材料的密度；

R(cm)为蒸发源到试样的距离；

θ(度)为样品表面法线与蒸发方面的夹角。

六、使用说明

1、将蒸发上盖放在主机的玻璃钟罩上。

2、打开泵开关（泵的使用说明详见真空泵使用说明书）。

3、放入样品后，打开电源开关，打开总开关，电源指示灯亮

4、真空表持续升高，大约20Pa时限流保护灯亮，上升至4×10-2mbar时趋于稳定。

5、旋转蒸发计时器旋转蒸发时间。

6、按住蒸发启动按钮直至时间结束。

7、真空泵上电磁放气阀放气结束后，打开上盖取出样品，然后闭合上盖

8、如果不再进行镀膜，关断“POWER”蒸发仪电源。

七、常见故障排除

故障现象判断与解决方法

1.真空抽不上去：检查玻璃钟罩是否放端正，上盖是否放端正或者没有盖好，电磁阀与泵的对插是否连接好。

2.使用一段时间检查溅射室中或管道内是否有油，可用汽油、无水酒精、丙酮溶液清洗

3.真空过低不能蒸发

4.碳绳是否夹紧、熔断。蒸发AB、CB,公共端是否接好

八、开箱清单（碳棒碳绳两用清单）

1.主机一台

2.使用说明书一份

3.备用保险管两个

4.油污过滤器一个

5.真空泵一台

6.KF16卡箍两个（泵上）

7.KF16卡箍一个（主机）

8.真空管道一条

9.玻璃钟罩一个

10.碳绳一包

11.电源线

12.样品台

13.电极柱组件   3个

14.碳棒组件     1套

15.碳棒         1根

16.铰链组件   1套

17.钟罩密封圈  2个

参考图片：