天泽智能科技发展(天津)有限责任公司
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离子溅射仪

官网:www.tianzeler.ltd

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1.显示操作面为30°斜面,充分考虑操作的便捷和视觉体验,方便观察操作;

2.真空泵连接管路为金属波纹管,美观耐用;

3.微调阀调节灵敏准确,带有刻度标识;

4.真空泵抽速快,噪音低,适合实验室使用;

5.控制电路为控制板,工作稳定可靠;

6.显示控制操作部分布局合理,位于同侧,使用方便;

7.结构简单可靠,布局合理,维修操作空间大;

8.采用定制“凹”密封,更加方便操作。

  1. 石英处理室:

Φ150mm,高度110mm;

Φ108mm,高度135mm;

  1. 溅射类型:(选一)

1.冷阴极磁控型二级溅射;

2.高压直流二级溅射

3.高压直流二级溅射升级版

  1. 试样台尺寸:Φ40-150mm,样品杯插孔19-61个可选;

  2. 样品更换:设有支撑结构,上盖打开可独立支撑,

  3. 金靶尺寸:Φ50或φ57mm;

  4. 真空系统:静音直联旋片真空泵2L/S;

  5. 真空检测:定制皮氏计,配合真空指针表,灵敏可靠;

  6. 真空保护:20pa配有微量充气阀调节工作真空;

  7. 真空泄压:自动进排气(无需手动放气阀)。

  8. 电路保护:过载保护

  9. 工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气节;

    桌面型热蒸发镀碳仪:

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 新型磁控低温离子镀膜仪


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主要功能:

 

 

      电子在电场的作用下,飞向基片过程中与气体原子发生碰撞,使其电离产生出气体正离子和新的电子;新电子飞向基片,离子在电场作用下加速飞向阴极靶,并以高能量轰击靶表面,使靶材发生溅射。在溅射粒子中,中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜,而产生的二次电子借助于靶表面上形成的正交电磁场,被束缚在靶表面特定区域,增强电离效率,增加离子密度和能量,从而实现高速率溅射。

主要应用:

适用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜(金膜、铂金、银、镍、铜等),仪器操作简单方便,是配合各类型扫描电子显微镜制样必备的仪器。是制备低维度,小尺寸纳米材料器件的必备实验手段,广泛应用于集成电路,光子晶体,低维半导体、微生物、超微膜材料等领域。

配套世界主流扫描电子显微镜厂家:

热电(美国原荷兰)FEI钨丝阴极、场发射、飞纳台式等各类型电子显微镜,蔡司(德国)钨丝阴极、场发射各系列的扫描电子显微镜,JEOL(日本电子)各类电镜,日立(日本)各系列电镜、台式电镜,TESCAN泰斯肯(捷克)各系列电镜,还有如韩国“赛科”、COXEM库赛姆、MIRERO等电镜品牌及所有需要样品前期处理,提高成像质量、增强导电性能等表面镀膜处理的样品制备工作。

离子溅射仪性能指标及各系统组成

 

 

 

项目

说明

产品名称

自动低温磁控离子溅射仪

型号

ISC-1000DCK,ISC-200,ISC-200B

容积、重量和尺寸

舱室尺寸

φ150X110 (mm),φ108X135毫米

外形尺寸

主机:约450X330X235mm;包装尺寸:560X450X345

真空泵: 约480X135X200;包装尺寸:580X215X367mm

重量

43㎏

噪音

65db以内(离机台正面1米并离地面1.2米处测量)

功率

约500W

电流

约10A

 

 

供电条件和电源

 

AC220V +保护接地

电压允许波动范围:10%

频率允许波动范围:(50±0.5)HZ

TN-S方式供电或TT方式供电

保护地线接地电阻小于4Ω

性能指标保证

功能保障

1.(空气)室内空间洁净干燥;

2.可选配纯净氩气气源

3.按流程操作

理论膜厚计算

涂层的厚度

    一般来说,用于扫描样品时金属的厚度为100—300 Å,经验的厚度测定可由下面的公式得到:

         d=KIVt

    其中d是以“埃”为单位的镀膜厚度。

    K是常数,取决于溅射金属和所充气体,此时靶与样品之间的距离大约是5cm。

    I是等离子流的单位mA。

    V是以“KV“为单位所施电压(1.68KV)。

    t是以秒为单位的时间。

采用金靶和氩气时K为0.17,如用空气K为 0.07。因此对于典型的溅射。

例如:I为8mA,t为100秒则,d=KIVt=0.17´8´100=136   Å

即每秒1.36 Å

溅射速度依赖于溅射系统本身的清洁程度,因此保护工作室的清洁十分重要。

 

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服务承诺

 

1.  质保期限:

到货之日起,为期一年。

2.  安装调试:

(1.)提供视频安装资料,电话和微信远程指导安装和调试。

(2.)上门安装调试(需协商)

3.  可提供的服务方式:

热线应答:由专业工程师通过沟通、帮助、指导、解决、排除故障
现场服务:由工程师在最短的时间内到达,以最快的方式排除故障。(需协商)
人性化服务:尊重以人为本的服务理念,提供超过客户期望值的服务。
远程服务:在客户授权的前提下,通过互联网远程指导技术人员在客户现场处理。
定期巡检服务:不定期由公司领导和ZS工程师带队,对客户进行巡检,广泛征求意见以求客户满意化。

4.  包装及运输方式:

1.包装:满足QB/BWD008-2001之要求的运输包装箱

2.输方式:公路货运物流

 

 

升级型                                                                             低温磁控型

                                               

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整体含溅射主机和真空系统组成,溅射靶头被设置成为一个二级溅射结构,通过均匀恒定的电场激发并电离气体分子,形成稳定的辉光放电现象,被电离的离子和电子在这个电场下进行加速,从而使靶原子逃离靶材表面在样品上面形成纳米涂层
配套世界主流扫描电子显微镜厂家:

热电(美国原荷兰)FEI钨丝阴极、场发射、飞纳台式等各类型电子显微镜,蔡司(德国)钨丝阴极、场发射各系列的扫描电子显微镜,JEOL(日本电子)各类电镜,日立(日本)各系列电镜、台式电镜,TESCAN泰斯肯(捷克)各系列电镜,还有如韩国“赛科”、COXEM库赛姆、MIRERO等电镜品牌及所有需要样品前期处理,提高成像质量、增强导电性能等表面镀膜处理的样品制备工作。
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