天泽智能科技发展（天津）有限责任公司
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离子溅射仪

官网：www.tianzeler.ltd

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1.显示操作面为30°斜面，充分考虑操作的便捷和视觉体验，方便观察操作；

2.真空泵连接管路为金属波纹管，美观耐用；

3.微调阀调节灵敏准确，带有刻度标识；

4.真空泵抽速快，噪音低，适合实验室使用；

5.控制电路为控制板，工作稳定可靠；

6.显示控制操作部分布局合理，位于同侧，使用方便；

7.结构简单可靠，布局合理，维修操作空间大；

8.采用定制“凹”密封，更加方便操作。

  1. 石英处理室：

Φ150mm,高度110mm;

Φ108mm,高度135mm;

  1. 溅射类型：（选一）

1.冷阴极磁控型二级溅射；

2.高压直流二级溅射

3.高压直流二级溅射升级版

  1. 试样台尺寸：Φ40-150mm,样品杯插孔19-61个可选；

  2. 样品更换：设有支撑结构，上盖打开可独立支撑，

  3. 金靶尺寸：Φ50或φ57mm;

  4. 真空系统：静音直联旋片真空泵2L/S；

  5. 真空检测：定制皮氏计，配合真空指针表，灵敏可靠；

  6. 真空保护：20pa配有微量充气阀调节工作真空；

  7. 真空泄压：自动进排气（无需手动放气阀）。

  8. 电路保护：过载保护

  9. 工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气节；

    桌面型热蒸发镀碳仪：

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 新型磁控低温离子镀膜仪


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主要功能：

 

 

      电子在电场的作用下，飞向基片过程中与气体原子发生碰撞，使其电离产生出气体正离子和新的电子；新电子飞向基片，离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。在溅射粒子中，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜，而产生的二次电子借助于靶表面上形成的正交电磁场，被束缚在靶表面特定区域，增强电离效率，增加离子密度和能量，从而实现高速率溅射。

主要应用：

适用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜、铂金、银、镍、铜等），仪器操作简单方便，是配合各类型扫描电子显微镜制样必备的仪器。是制备低维度，小尺寸纳米材料器件的必备实验手段，广泛应用于集成电路，光子晶体，低维半导体、微生物、超微膜材料等领域。

配套世界主流扫描电子显微镜厂家：

热电（美国原荷兰）FEI钨丝阴极、场发射、飞纳台式等各类型电子显微镜，蔡司（德国）钨丝阴极、场发射各系列的扫描电子显微镜，JEOL（日本电子）各类电镜，日立（日本）各系列电镜、台式电镜，TESCAN泰斯肯（捷克）各系列电镜，还有如韩国“赛科”、COXEM库赛姆、MIRERO等电镜品牌及所有需要样品前期处理，提高成像质量、增强导电性能等表面镀膜处理的样品制备工作。

离子溅射仪性能指标及各系统组成

 

 

 

项目

说明

产品名称

自动低温磁控离子溅射仪

型号

ISC-1000DCK,ISC-200，ISC-200B

容积、重量和尺寸

舱室尺寸

φ150X110 （mm），φ108X135毫米

外形尺寸

主机：约450X330X235mm;包装尺寸：560X450X345

真空泵: 约480X135X200；包装尺寸：580X215X367mm

重量

43㎏

噪音

65db以内（离机台正面1米并离地面1.2米处测量）

功率

约500W

电流

约10A

 

 

供电条件和电源

 

AC220V +保护接地

电压允许波动范围：10%

频率允许波动范围：（50±0.5）ＨZ

TN-S方式供电或TT方式供电

保护地线接地电阻小于4Ω

性能指标保证

功能保障

1.（空气）室内空间洁净干燥；

2.可选配纯净氩气气源

3.按流程操作

理论膜厚计算

涂层的厚度

    一般来说，用于扫描样品时金属的厚度为100—300 Å，经验的厚度测定可由下面的公式得到：

         d=KIVt

    其中d是以“埃”为单位的镀膜厚度。

    K是常数，取决于溅射金属和所充气体，此时靶与样品之间的距离大约是5cm。

    I是等离子流的单位mA。

    V是以“KV“为单位所施电压（1.68KV）。

    t是以秒为单位的时间。

采用金靶和氩气时K为0.17，如用空气K为 0.07。因此对于典型的溅射。

例如：I为8mA，t为100秒则，d=KIVt=0.17´8´100=136   Å

即每秒1.36 Å

溅射速度依赖于溅射系统本身的清洁程度，因此保护工作室的清洁十分重要。

 

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服务承诺

 

1.  质保期限：

到货之日起，为期一年。

2.  安装调试：

（1.）提供视频安装资料，电话和微信远程指导安装和调试。

（2.）上门安装调试（需协商）

3.  可提供的服务方式：

热线应答：由专业工程师通过沟通、帮助、指导、解决、排除故障
现场服务：由工程师在最短的时间内到达，以最快的方式排除故障。（需协商）
人性化服务：尊重以人为本的服务理念，提供超过客户期望值的服务。
远程服务：在客户授权的前提下，通过互联网远程指导技术人员在客户现场处理。
定期巡检服务：不定期由公司领导和ZS工程师带队，对客户进行巡检，广泛征求意见以求客户满意化。

4.  包装及运输方式：

1.包装：满足QB／BWD008-2001之要求的运输包装箱

2.输方式：公路货运物流

 

 

升级型                                                                             低温磁控型

                                               

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整体含溅射主机和真空系统组成，溅射靶头被设置成为一个二级溅射结构，通过均匀恒定的电场激发并电离气体分子，形成稳定的辉光放电现象，被电离的离子和电子在这个电场下进行加速，从而使靶原子逃离靶材表面在样品上面形成纳米涂层
配套世界主流扫描电子显微镜厂家：

热电（美国原荷兰）FEI钨丝阴极、场发射、飞纳台式等各类型电子显微镜，蔡司（德国）钨丝阴极、场发射各系列的扫描电子显微镜，JEOL（日本电子）各类电镜，日立（日本）各系列电镜、台式电镜，TESCAN泰斯肯（捷克）各系列电镜，还有如韩国“赛科”、COXEM库赛姆、MIRERO等电镜品牌及所有需要样品前期处理，提高成像质量、增强导电性能等表面镀膜处理的样品制备工作。
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