天泽智能科技发展(天津)有限责任公司
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天泽智能 热蒸发镀碳仪 TZZN-1000C

真空镀碳仪

 

厂家

 

型号:TZSC-1000C


注明:桌面型蒸镀碳层,减少因样品镀层对X射线能量谱仪做元素分析时的能量损失,可以选择蒸发碳绳和蒸发碳棒两种方式。

 

 

 

技术规格说明

样品仓尺寸:φ150mmX110mm

蒸发面积:约Φ140mm

真空度:≤4×10-2mbar

工作电压:220V,50HZ

蒸发输出:电压30V

蒸发靶材:碳棒、碳绳

蒸发电流:约100A

 

理想膜层的特点

1.良好的导热和导电性能。

2.不管样品的表面形貌如何,覆盖在所有部位的膜层需要薄厚均匀。

3.膜层对样品的化学成分干扰很小,对从样品中发射的X射线强度影响很弱。

4.这层膜主要增加样品表面的导电性能和导热性能,相较于导电金属膜层的厚度普遍在10nm以上;可提供碳的镀层,在3-4nm分辨率尺度内不显示其几何形貌特点,避免引入不必要的人为图像,镀层精细均匀,适合非常粗糙的样品,高分辨研究。

5.可以喷碳(碳棒或碳绳),有利于对样品中非碳元素的能谱分析。

6.非导电样品观察背散射电子图像,进行EBSD分析,也应该喷碳处理。

 

主要用于扫描电镜 EDS 样品镀导电膜 ,仪器操作简单方便,是配合SEM 制样的仪器。

TZZN-1000C热蒸发镀碳仪

 

使用说明书

 

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 设备外观仅供参考,以实物为准)

特点:

1.热蒸发仪是将碳绳连接在真空中的两个电极上,为了避免碳在空气中加热燃烧;

2.特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈,可保证长期使用不会出现影响样品蒸镀/溅射室的玻璃钟罩“崩边”现象;

3.密封高压头更经久耐用。低真空 4*10-2mbar时用真空保护(标准机型为结构密封)。

4.碳绳这时候相当于白炽灯的灯丝。“灯丝”的温度随着交流电压的加大而升高。当达到 3000℃ 以上,开始白炽发光的时候,大量的碳原子从"灯丝"表面向任意方向发射。把样品放在灯丝附近,在样品表面可以形成致密的碳膜。

5.为了使得样品不至于被高温灼烧,蒸碳在瞬间完成(通过调节旋钮延长保护时间)。

使用说明书并非质量保证书,信息有谬误支出欢迎更正指导;产品的改进,均由本公司随时做出解释,修正内容将编入再版使用说明书中。

一、.使用注意事项

■请确保电源插座接触良好并且保证有可靠接地!

虽然热蒸发镀碳仪的平均电流不大,但瞬时工作电流可能相对较高。

■请确保蒸发镀碳仪的工作电压稳定、正常!

我公司标准产品的工作电压范围为 :210V~250V

■电源频率不匹配会导致仪器损坏!

仪器的使用频率为 50HZ。

■禁止私自对仪器进行拆卸改装!

本产品为精密仪器,拆卸不当可能发生真空系统漏气、设备短路等情况,造成仪器损坏和人员伤亡。

■蒸碳仪在不工作时不要让真空室一直处于真空状态!

真空室一直处于真空状态,真空泵进气口处于负压,使得泵油倒灌样品室。

注意:本产品为精密设备,请勿让非专业人士操

作,使用过程中操作人员不得离开现场

 

二、外形及部件名称(随机变化略有不同)

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1.真空表,2.电流表,3.启动按钮, 4.真空指示灯,5.转换开关(当前为右侧),6.延时旋钮,7.电源

 

 

样品室:(可换装碳棒电极)

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1.保护帽,2.上盖,3. “凹”型密封圈,4.石英钟罩,5.碳绳电极,6.挡板,7.底座

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1.A/B/C电极,2.真空泵电源,3.接地端子,4.过流保险,5.220V电源,6.短路指示灯,7.挡板

泵和真空管道

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1过滤器,2.电磁阀接头,3.真空泵排气口卡箍,4.真空泵加油口,5.真空泵放油口,6.真空泵进气口卡箍,7.自动开关,8.真空管

 

三、安装使用说明

仪器的安装                   

1、打开包装,检查仪器是否完好,附件是否齐全

2、清理样品室,检查样品室中是否有异物、粉尘,并清理干净。

3、把油污过滤器安装在泵的出气口,并用 卡箍卡紧。

4、连接真空管道,将 KF16端接仪器,另一端接泵的进气口,并用卡箍卡紧。

5、将电磁阀的电源线和泵的引出端对插到一起。

6、把泵电源插在主机后面板的泵电源插座上。

7、将蒸发上盖的蒸发公共端 A、蒸发 B、蒸发 C按颜色对应接在主机后面板的接头上。

8、将玻璃钟罩放在主机的底盘上,将热蒸发上盖放在主机的玻璃钟罩上。

9、将总电源线插上。

 10. 碳绳的更换

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1.AB段碳绳,2.AC段碳绳,通过转换开关选择

用六角扳手将上盖的三个内六角螺钉拧松,将碳绳按照BAC或CAB的顺序依次缠绕在卡槽中,分别拧紧螺钉,将碳绳剪断即可。

    前面板的“5.转换开关”,左侧对应使用的碳绳为AC段,右侧对应使用的碳绳为AB段。

四、技术规格说明

样品仓尺寸:φ150mmX110mm

蒸发面积:约Φ140mm

真空度:≤4×10-2mbar

工作电压:220V,50HZ

蒸发输出:电压30V

蒸发靶材:碳棒、碳绳

蒸发电流:约100A

五、仪器的使用经验

理想膜层的特点

1.良好的导热和导电性能。

2.不管样品的表面形貌如何,覆盖在所有部位的膜层需要薄厚均匀。

3.膜层对样品的化学成分干扰很小,对从样品中发射的X射线强度影响很弱。

4.这层膜主要增加样品表面的导电性能和导热性能,相较于导电金属膜层的厚度普遍在10nm以上;可提供碳的镀层,在3-4nm分辨率尺度内不显示其几何形貌特点,避免引入不必要的人为图像,镀层精细均匀,适合非常粗糙的样品,高分辨研究。

5.可以喷碳(碳棒或碳绳),有利于对样品中非碳元素的能谱分析。

6.非导电样品观察背散射电子图像,进行EBSD分析,也应该喷碳处理。

注意:热蒸发功能容易对样品产生污染,蒸发温度过高(例如碳的蒸发温度为3500K),会损伤热敏感材料。

7.真空蒸发镀层厚度可以通过下面公式进行估算:

T=3/4(M/4πR2ρ)cosθ×10-7(式中2和-7为指数)

其中:

T(nm)为蒸镀层的厚度;

M(g)为蒸发材料的总质量;

ρ(g/cm3)为蒸发材料的密度;

R(cm)为蒸发源到试样的距离;

θ(度)为样品表面法线与蒸发方面的夹角。

使用说明

1、将蒸发上盖放在主机的玻璃钟罩上。

2、打开泵开关(泵的使用说明详见真空泵使用说明书)。

3、放入样品后,打开电源开关,打开总开关,电源指示灯亮

4、真空表持续升高,大约20Pa时限流保护灯亮,上升至4×10-2mbar时趋于稳定时可以开始启动蒸碳(真空越高蒸碳的效果越好,所需的等待时间会相对延长,此设备真空不可调节)。

5、旋转蒸发计时器设定时间:时间范围:0—1秒;旋转钮设有8.

5个挡位对应相应的蒸发时间。

(注意:单次蒸发时间越长对碳绳和碳棒的消耗越大;挡位的选择:1-4挡蒸发碳膜不太明显,5-7挡及以上挡位,对应的单次蒸发量沉积在样品上的碳膜会有明显的变化。)

6、设定好挡位,按住蒸发“启动/START”按钮直至时间结束。

(注意:选择高挡位长时间蒸碳时,如果多次对同一样品蒸碳,因为膨胀系数的不同,会有裂纹或是起皮现象,针对不同样品需要摸索不同的蒸碳条件。)

7、蒸碳完毕,关闭电源,待真空泵上电磁放气阀放气结束后,打开上盖取出样品,然后闭合上盖

8、如果不再进行镀膜,关断蒸发仪电源。

常见故障排除

故障现象判断与解决方法

1.真空抽不上去:检查玻璃钟罩是否放端正,上盖是否放端正或者没有盖好,电磁阀与泵的对插是否连接好。

2.使用一段时间检查溅射室中或管道内是否有油,可用汽油、无水酒精、丙酮溶液清洗

3.真空表的指示如有轻微的偏差,不会影响使用。

4.碳绳是否夹紧、熔断。蒸发AB、AC,公共端是否接好

参考图片:

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型号:TZSC-1000C

注明:桌面型蒸镀碳层,减少因样品镀层对X射线能量谱仪做元素分析时的能量损失,可以选择蒸发碳绳和蒸发碳棒两种方式。

技术规格说明
样品仓尺寸:φ150mmX110mm
蒸发面积:约Φ140mm
Z高真空度:≤4×10-2mbar
工作电压:220V,50HZ
蒸发输出:电压30V
蒸发靶材:碳棒、碳绳
蒸发Z大电流:约100A

理想膜层的特点
1.良好的导热和导电性能。
2.不管样品的表面形貌如何,覆盖在所有部位的膜层需要薄厚均匀。
3.膜层对样品的化学成分干扰很小,对从样品中发射的X射线强度影响很弱。
4.这层膜主要增加样品表面的导电性能和导热性能,相较于导电金属膜层的厚度普遍在10nm以上;可提供碳的镀层,在3-4nm分辨率尺度内不显示其几何形貌特点,避免引入不必要的人为图像,镀层精细均匀,适合非常粗糙的样品,高分辨研究。
5.可以喷碳(碳棒或碳绳),有利于对样品中非碳元素的能谱分析。
6.非导电样品观察背散射电子图像,进行EBSD分析,也应该喷碳处理。

主要用于扫描电镜 EDS 样品镀导电膜 ,仪器操作简单方便,是配合SEM 制样的仪器。
6镀碳仪

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