Proscan III -高精度显微镜自动化系统

电动载物台

产品序号

参数

HLD117

最小步进大小:  0.05um  ；  XY 重复精度均值: 0.15μm

ZD速度：300mm/s    ；  最小速度：1um/s

行程范围(X,Y)mm：120x72 ;  ZD载重量:    6kg;

线性电机带编码器         应用：超高精度扫描

H139

最小步进大小:  0.01um ； XY 重复精度均值: ±0.7μm

ZD速度：25mm/s ； 行程范围(X,Y)mm：280x82
ZD载重量:    10kg

步进电机可选带编码器   应用：高精度扫描，多孔板定位

H101F

最小步进大小:  0.04μm ； XY 重复精度均值: ±0.2μm

ZD速度：40mm/s   ；行程范围(X,Y)mm：114x75
ZD载重量:    10kg

步进电机可选带编码器

应用：高精度扫描与定位

HT1111

最小步进大小:  0.02μm  ； XY 重复精度均值: 1.5μm

ZD载重100KG   ；   行程范围(X,Y)mm：108x108

步进电机可选购编码器

应用：高压试验

ZDZ12MP/ZDZ12MK

XY最小步进大小:  0.04μm   ； XY 重复精度均值: ±0.2μm

ZD速度：15mm/s  ； 行程范围(X,Y)mm：65x65
ZD载重量:    10kg

步进电机可选带编码器

应用：高精度扫描与定位

H105

最小步进大小:  0.04μm  ；XY 重复精度均值: ±0.7μm

ZD速度：24mm/s  ；行程范围(X,Y)mm：154x154
ZD载重量:    10kg

步进电机可选带编码器

应用：大样品的高精度扫描与定位

H117

最小步进大小:  0.04μm  ；XY 重复精度均值: ±0.7μm

ZD速度：24mm/s  ；行程范围(X,Y)mm：114x75
ZD载重量:    10kg

步进电机可选带编码器

应用：大高精度扫描与定位，活细胞成像等

H101A

最小步进大小:  0.04μm  ；XY 重复精度均值: ±0.7μm

ZD速度：40mm/s  ；行程范围(X,Y)mm：114x75
ZD载重量:    10kg

步进电机可选带编码器

应用：大高精度扫描与定位，活细胞成像等

ZDP50K/ ZDP50T

最小步进大小(ZDP50T only):  0.02μm  ；

行程范围(X,Y)mm：50x50
ZD载重量:    60kg

步进电机可选带编码器

应用：重物定位

H116SPN

最小步进大小:  0.04μm  ；XY 重复精度均值: ±0.2μm

ZD速度：40mm/s  ；行程范围(X,Y)mm：250x210

步进电机不带编码器

应用：晶圆载入和卸载等

H116

最小步进大小:  0.04μm  ；带线性编码器：0.01μm

XY 重复精度均值: ±0.7μm

建议速度：40mm/s  ；行程范围(X,Y)mm：255x216 ；
ZD载重量:    25kg

步进电机可选带编码器

应用：大样品的高精度扫描与定位

H112

最小步进大小:  0.04μm  ；带线性编码器：0.01μm

XY 重复精度均值: ±0.7μm

建议速度：40mm/s  ；行程范围(X,Y)mm：302x302 ；
ZD载重量:    25kg

步进电机可选带编码器

应用：大样品的高精度扫描与定位

H138A

最小步进大小:  0.04μm  ；带线性编码器：0.01μm

XY 重复精度均值: ±0.7μm

ZD速度：100mm/s  ；行程范围(X,Y)mm：240x71 ；
ZD载重量:    10kg

步进电机可选带编码器

应用：8片玻片样品的高精度扫描与定位