| 资料简介： | |
| 现代电子产品的特征尺寸不断缩小——接近甚至小于光的波长。为了检测更小的结构，设备制造商正在寻找新的方法来提高其系统的光学分辨率，其中一种方法是减小照明的波长。 在过去，已将光源移至可见光谱的蓝端，而如今一些应用正在转向近紫外、深紫外 (DUV) 甚至极紫外 (EUV)波段。 为了应对在紫外线（UV）下工作的挑战，制造商提高产品设计的同时也使用改性材料，让新一代传感器成功适用于UV应用。 |
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| 文档标签： | 高速摄像机 高速相机 摄像机 |
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