等离子发射色谱仪分析空分特种气、电子气

GC-9280等离子发射色谱仪配备超高灵敏度的等离子发射检测器，当气体样品通过石英管时被高压发生器电离，产生光信号，滤光片会根据波长选择性地滤出光信号，并通过光电二极管转化为电信号，经信号电压发大器将信号放大到分析所需的程度，满足检测ppt 到 百分比的检测范围。

• 典型分析

空分(ASU)行业

• 高纯O2、N2、Ar中杂质（H2/O2/N2/Ar/CH4/CO/CO2）分析；

• 液O2、液Air及空分吸风口中危险物质(C2H2、N2O、THC、C1-C4)分析；

• 稀有气体He、Ne、Kr、Xe中杂质(N2/O2+Ar/H2/CO/CO2/CH4/Kr/Xe/N2O/C2F6/CF4/SF6)分析。

特种气、电子气行业

• 特气中杂质(H2/N2/O2+Ar/CO/CO2/CH4）分析；

• 腐蚀性气体：Cl2、HCl、HBr、NH3、SiH4 、SiHCl3、SiH2Cl2、AsH3、PH3、GeH4、BF3、BCl3、NF3、WF6、HF、F2等杂质分析；

• 卤化物：C3F8、C4F8、SF6、CF4、C2F6、CHI2CI3、CH2CHCl、SiCl4等杂质分析；

• CO2、NH3、H2等杂质分析。

• 等离子发射检测器（PED）工作原理

• 等离子发射检测器是一个灵敏度*的通用型检测器，其内部有一个设计*的，加载高频高压电场的石英腔体。当气体样品通过石英腔体时被高压发生器电离，产生一种叫做场致发光的荧光现象并发射出特征谱线，发射谱线随着载气中不同物质而发生变化，用这种光发射技术来对样品进行定量分析。

• 检测器产生的光信号被光学系统检测到，光学系统包括滤光片和光电二极管，滤光片会根据波长选择性地滤出光信号，并通过光电二极管转化为电信号，经信号电压发大器将信号放大到分析所需的程度。

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• 等离子发射检测器（PED）检测限：