北京普瑞分析仪器有限公司
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氪气分析用氦离子色谱仪电子工业气体痕量杂质检测氦离子气相色谱

氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用普瑞公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量。

氪分析用氦离子色谱仪参考：GB/T 5829-2006 氪气

项目

指标

高纯氪

纯氪

一等品

合格品

氪气（Kr）（体积分数）/10-2  

≥

99.999

99.995

99.99

氮（N2）（体积分数）（N2）/10-6

≤

2

8

20

氧（O2）+氩（Ar）（体积分数）/10-6

≤

1.5

5

5

氢（H2）（体积分数）/10-6

≤

0.5

1

2

一氧化碳（CO）（体积分数）/10-6

≤

0.3

0.4

1

二氧化碳（CO2）（体积分数）/10-6

≤

0.4

0.8

1

甲烷（CH4）（体积分数）/10-6

≤

0.3

0.8

1

水分（H2O）（体积分数）/10-6

≤

2

3

5

氙气（Xe）（体积分数）/10-6

≤

2

20

50

氟化物（CF4）（体积分数）/10-6

≤

1

10

15

1

4

2

3

u=801034454,410288137&fm=1

6

​

应用领域: 通用EPC控制: 有仪器种类: 在线
氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用普瑞公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量。

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