艾利卡特LK2系列数字式质量流量控制器

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产品概述

Alicat 的 LK2 系列数字式质量流量控制器可通过定制化的高速比例 调节阀精确测量与控制过程气体的质量流量、体积流量和压力，还 可同时测量并显示气体温度。

Alicat 的 LK2 系列质量流量控制器采用内部补偿型层流压差技 术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动，充分补偿因压力和温 度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修 正。所有 Alicat 质量流量计&质量流量控制器均具有 NIST 可溯源校准

证书。Alicat 提供全方位的用户支持，包括技术咨询、快捷的设备校准 服务和有条件的终身质保。

LK2 系列质量流量控制器内部无可移动组件和热元件，通过抗振动测试，对安装方向不敏感。Alicat 提供全 方位的用户支持，包括技术咨询、快捷的设备校准服务和有条件的终身质保。

Alicat 的 LK2 系列质量流量控制器带有集成式多功能数字显示屏，用户仅通过屏幕按钮操作便可控制设定值 及 PID 阀门调节，内置 90 种标准气体供选择，同时开放模拟通讯和 RS-232 数字通讯模式。另有各类定制 化选项供特殊项目需求，如：用于危险环境的 ATEX(欧洲)1 类 2 区和 CSA(美国)1 类 2 区认证产品等。另 有耐腐蚀系列(LKF5 系列)、低压损系列(LKD13 系列)质量流量控制器可选。

产品应用

Alicat 的 LK2 系列数字式质量流量控制器广泛应用于各行业领域，如：科学研究、泄漏测试、环境监测、真 空镀膜、半导体、汽车知道、光伏、燃料电池、光线制造、计量以及过程工艺气体测量等。多变量测量与控 制、多种气体标定以及 200:1 量程可调比使得仅用一台 Alicat 质量流量控制器便可取代多台设备的功效。最 高可达 0.4%的精度、0.2%的重复性及不到 100 毫秒的控制响应时间优化了气体控制过程。

LK2 系列质量流量控制器可测量与控制从 0-0.5 sccm 到 0-5000 slpm 的满量程的任何流量。 

LK2 系列质量流量控制器

0 – 0.5 sccm 满量程～0 – 5000 slpm 满量程

规格和尺寸

流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM）, 是一种测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。

质量流量控制器, 即Mass Flow Controller（缩写为MFC）, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。

2. 质量流量控制器的原理是什么？

质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。

3. 怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？

气体质量流量单位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325Pa (760mm Hg); 温度—0℃ (273.15K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之处。

对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min）,这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。

需要注意的是, 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位, 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位（Kg/min）, 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI国际标准。

4.  什么情况下用质量流量计, 什么情况下用质量流量控制器 ? 

一般而言，仅对流量进行计量或监测时，用质量流量计；需要对流量进行控制时，用质量流量控制器。某些测量场合，用二者皆可，如对毛细管流通能力的测量,当定压测流的时候, 用质量流量计; 当定流测压时, 需要用质量流量控制器。注意, 当质量流量控制器处于清洗状态时, 也可以当质量流量计使用, 只不过气压降要比普通质量流量计大一些。

5.  质量流量计 / 质量流量控制器的主要优点是什么？ 

(1)  流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。

对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计 / 质量流量控制器，则一般可以忽略不计。

(2)  测量控制的自动化

质量流量计 / 质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。

(3)  地定量控制流量

质量流量控制器可以地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。

(4)  适用范围宽

有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品小流量范围可达0～5 sccm，流量范围可达0～200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量控制范围是满量程的2~100% (量程比为-- 50:1), 因此在很多领域得到广泛应用。