型号 |
YSP63FA |
模式 |
RIE(DP模式选购) |
高频输功率 |
600W |
反应台尺寸 |
W385×D362mm |
内腔尺寸 |
W395×D378×H45mm(内尺寸) |
反应气体 |
2进气系统(氧气、氩气) |
反应气体流量控制 |
质量流量控制器 |
真空泵 |
旋转式真空泵(约500L/min) |
气体导入口 |
反应气体2个、填充气体1个、空气1个 |
外形尺寸 |
W1860×D1100×H1800mm |
江苏米立特科学仪器有限公司
仪器网(yiqi.com)--仪器行业网络宣传传媒