等离子清洗机 YSP600U/2KU-江苏米立特科学仪器有限公司

详细信息

样品传输系统为模块式，便于组合
用途
● 提高各种材料的粘接性、表面改质处理
● 清洗各类基板。
● 电子部品、材料表面改质。
● 去除有机物和自然氧化膜。

特点
● 体积小，节省空间。
● 选用小型腔体，反应效率高。
● 更容易嵌入生产线使用。
● 可通过操作面板自由切换等离子模式。
● 配备冷却反应台。

内槽

技术规格

型号	YSP600U	YSP2KU
模式	RIE（DP模式选购）
高频输功率	600W	2000W
反应台尺寸	W300×D300mm	W600×D600mm
反应气体	2进气系统（氧气、氩气）
反应气体流量控制	质量流量控制器
气体导入口	反应气体2个、填充气体1个、空气1个