等离子清洗机 PDC610-江苏米立特科学仪器有限公司

详细信息

小型、多段式等离子清洗机

用途
● 提高各种材料的粘接性、表面改质处理
● 灰化、蚀刻处理
● 塑料封装前处理
● 印刷基板镀层前处理
● LED关联部品处理
● 电子部品清洗
● 光刻胶剥离或表面残留物去除
● 光学、金属、机械部品等精密部件的清洗
● 包含氟化树脂的树脂类产品表面改质
● FCC对应

特征
● 600W的小型高输出功率
● 电极可选择1·2·3段（采购时指定）
● 可处理纵型的试料收纳盒
● 可选择RIE/DP模式（采购时指定）
● 数据记录器（选配）
● 适配点记忆功能（选配）

规格

型号	PDC610
等离子模式	RIE/DP（固定模式）
电极构造	3段独立平行平板（固定）
高频输出	Max600W
频率	13.56MHz
控制·显示方式	PLC·触摸屏
反应腔尺寸	W350×D270×H300mm
反应腔材质	A5052
反应气体	2系统（Ar、O2）
填充气体	N2或干燥空气
真空泵	油泵（约345L/分）·标配
外形尺寸	W600×D722×H700mm
外装材质	不锈钢
电源	3相 AC200 50/60Hz 15A