详细信息
核心参数
自动化: 自动样品腔尺寸: 320x160x160mm样品腔容积: 8L射频功率: 13.56MHz频率: 500W
产品优势
VP-RS8等离子清洗机对标国际一线品牌,填补国内技术空白(专利:真空不锈钢腔体等离子清洗装置),真空腔体不锈钢材质,功率500W,VP-RS8频率13.56MHz,能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,满功率运行3分钟,腔体温度不高于45℃,不损伤样品,适用于晶圆去胶、煤灰化、碳毯(CF)、微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。