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Femto Science 等离子清洗机 表面处理设备 CUTE


Femto Science 等离子清洗机 表面处理设备 CUTE

图片

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简介

CUTE系列等离子清洗机来自韩国Femto Science公司，是一款无损伤的等离子体处理表面处理系统，其独特的设计保证了高度稳定和均匀辉光放电等离子体产生，可应用于微流控、组织工程、石墨烯、2D材料等纳米科学以及微电子领域，适用于诸多材料表面清洁、疏水性增强、层间粘附、刻蚀等操作，标配一路自动气体流量计，可实现对工艺气体的精确控制。

CUTE系列等离子清洗机，其舱体采用铝合金制作，坚固耐用且抗腐蚀，其舱体自带显示屏，配合显示屏下方的操作按钮，使用简单，方便快捷。


规格参数

项目

参数

舱体材质

铝合金

舱体内部尺寸

140mm x 200mm x 110mm

电源频率

20~100kHz

电源功率

最 大100W 可自由调节

标准气体输入

1 x 气路

额外气体输入

2 x 空管道可供升级

气体流速控制

MFC自动控制

最 大流速

100sccm

气体流速控制精度

满量程的1%

真空泵抽气速率

80L/min

最小真空

1 x 10-3 Torr

真空测量范围

大气压 ~ 5 x 10-5 Torr

显示

彩色触摸屏，图形化控制界面

操作员分级

2级操作人员分级

程序

可进行半自动控制和全自动编程控制

参数存储

最 大10组工艺参数储存，每组工艺包含最多10个工艺步骤

功能图解

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应用系统

PDMS芯片制作

石墨烯，2D材料表面处理

Bio-MEMS

组织工程

食品科学

 



自动化: 手动
CUTE系列等离子清洗机来自韩国Femto Science公司，是一款无损伤的等离子体处理表面处理系统，其独特的设计保证了高度稳定和均匀辉光放电等离子体产生，可应用于微流控、组织工程、石墨烯、2D材料等纳米科学以及微电子领域，适用于诸多材料表面清洁、疏水性增强、层间粘附、刻蚀等操作，标配一路自动气体流量计，可实现对工艺气体的精确控制。
CUTE系列等离子清洗机，其舱体采用铝合金制作，坚固耐用且抗腐蚀，其舱体自带显示屏，配合显示屏下方的操作按钮，使用简单，方便快捷。
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