概述:
用于 1 sccm 到 100 slm 流量的层流元件
molbloc-L 是与 molbox 质量流量终端结合使用的层流元件。molbloc 流量路径位于 molbloc 内,是活塞与结合紧密的汽缸体之间的纵向环形间隙。通过调整这个间隙的尺寸,可获得不同的 molbloc 量程。对于高流量量程(1E4 尺寸及以上),需要使用配有更大活塞的更大 molbloc 机体。
特性一览
可与现有的 molbox1+ 和 molbox RFM 质量流量终端以及 COMPASS 软件结合使用
整合了过滤器,可保护其免受污染
完整的气体温度调节和测量
连续、实时的读数
可以实现全自动
无活动部件
molbloc-L 量程
molbloc 尺寸由一些相对于标称流量阻抗的数字指定。在 250 kPa 绝压 (36 psia) 上游压力和 50 kPa (7.5 psid) 压力差的情况下,当氮气流经 molbloc 时,标称阻抗可产生标称流量量程。在实践中,molbloc 流量量程可能与标称流量量程差别很大。这些差别来自气体之间的密度和粘性之间的差别,也来自不同的 molbloc 工作压力校准选项。
技术指标:
技术指标 - 标准 molbloc-L 校准 - 与 molbox1+ 终端结合使用 | |
测量更新速率 | 1 秒 |
范围 | 从 0 到 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力 取决于校准类型(请参阅第 1.2.5.1.3 节) |
分辨率 | 0.0015 % FS |
线性 | ±0.05% 读数,从 10% 到 100% FS ±0.005% FS,在 10% FS 以下 |
重复性 | ±0.05% 读数,从 10% 到 100% FS ±0.005% FS,在 10% FS 以下 |
精确度1 | ±0.07% 读数,从 10% 到 100% FS 10% FS 下为 ±0.007% FS |
稳定度2 (1 年期) | ±0.09% 读数,从 10% 到 100% FS 10% FS 下为 ±0.009% FS |
测量不确定度3 | ±0.2% 读数,从 10% 到 100% FS 10% FS 下为 ±0.02% FS |
(N2 和 molbox1+ 支持且 molbloc 校准时使用的任意气体) | 1E5 molbloc ±0.5% 读数,从 25% 到 100% FS ±0.125% FS,在 25% FS 以下 |
1 精确度:包含线性度、迟滞和可重复性。 2 稳定度:典型 molbox1+ 和 molbloc 在典型环境下使用时特定时间段内从零到范围值的zui大变化情况。由于稳定度只能是一种预测,因此应该根据经验建立特定 molbloc 和 molbox1+ 的稳定度。 3 测量不确定度(精确度):molbox1+ 流量指示相对于通过 molbloc 的流量真值的zui大偏差,包括精确度、稳定度和福禄克公司计量校准部的标准测量不确定度。 |
技术指标 - 特级 molbloc-L 校准 - 与 molbox1+ 终端结合使用 | |
测量更新速率 | 1 秒 |
范围 | 从 0 到 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力 取决于校准类型(请参阅第 1.2.5.1.2 节) |
分辨率 | 0.0015 % FS |
线性 | ±0.05% 读数,从 10% 到 100% FS ±0.005% FS,在 10% FS 以下 |
重复性 | ±0.05% 读数,从 10% 到 100% FS ±0.005% FS,在 10% FS 以下 |
精确度1 | ±0.07% 读数,从 10% 到 100% FS 10% FS 下为 ±0.007% FS |
稳定度2 (1 年期) | ±0.03% 读数,从 10% 到 100% FS 10% FS 下为 ±0.003% FS |
测量不确定度3 | ±0.125% 读数,从 10% 到 100% FS 10% FS 下为 ±0.0125% FS |
(N2 和 molbox1+ 支持且 molbloc 校准时使用的任意气体) | 1E5 molbloc-L 特级校准不可用 |
1 精确度:包含线性度、迟滞和可重复性。 2 稳定度:典型 molbox1+ 和 molbloc 在典型环境下使用时特定时间段内从零到范围值的zui大变化情况。由于稳定度只能是一种预测,因此应该根据经验建立特定 molbloc 和 molbox1+ 的稳定度。 3 测量不确定度(精确度):molbox1+ 流量指示相对于通过 molbloc 的流量真值的zui大偏差,包括精确度、稳定度和福禄克公司计量校准部的标准测量不确定度。 |
技术指标 - 标准 molbloc-L 校准 - 与 molbox RFM 终端结合使用 | |
molbloc-L(量程从 1E1-L 到 3E4-L) | |
测量更新速率 | 1 秒 |
范围 | 从 0 到 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力,取决于校准类型(请参阅 molbloc-L 量程表) |
分辨率 | 0.01% FS |
线性 | ±0.23% 读数,从 10% 到 100% FS;±0.023% FS,在 10% FS 以下 |
重复性 | ±0.1% 读数,从 10% 到 100% FS;±0.01% FS,在 10% FS 以下 |
精确度1 | ±0.25% 读数,从 10% 到 100% FS;±0.025% FS,在 10% FS 以下 |
预测的稳定度2 (一年期) | ±0.15% 读数,从 10% 到 100% FS;±0.015% FS,在 10% FS 以下 |
测量不确定度3 | ±0.5% 读数,从 10% 到 100% FS;±0.05% FS,在 10% FS 以下 |
具有微量程选项的 molbox RFM | ||
molbloc-L(量程从 1E1-L 到 3E4-L) | molbloc-L(量程仅仅是 1E5) | |
测量更新速率 | 1 秒 | 1 秒 |
范围 | 从 0 到 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力,取决于校准类型(请参阅 molbloc-L 表) | 从 0 到 molbloc 满刻度,取决于气体和 molbloc 压力,取决于校准类型(请参阅 molbloc-L 表) |
分辨率 | 0.01 % FS,在 0.001 % FS 以下;0.001 % FS,在 10% FS 以下 | 0.01% FS |
线性 | ±0.23% 读数,从 1% 到 100% FS ±0.0023% FS,在 1% FS 以下 | ±0.25% 读数,从 5% 到 100% FS;±0.0125% FS,在 5% FS 以下 |
重复性 | ±0.1% 读数,从 1% 到 100% FS;±0.001% FS,在 1% FS 以下 | ±0.2% 读数,从 5% 到 100% FS;±0.01% FS,在 5% FS 以下 |
精确度1 | ±0.25% 读数,从 1% 到 100% FS;±0.0025% FS,在 1% FS 以下 | ±0.32% 读数,从 5% 到 100% FS;±0.016% FS,在 5% FS 以下 |
预测的稳定度2 (一年期) | ±0.15% 读数,从 1% 到 100% FS;±0.0015% FS,在 1% FS 以下 | ±0.2% 读数,从 5% 到 100% FS;±0.01% FS,在 5% FS 以下 |
测量不确定度3 | ±0.5% 读数,从 1% 到 100% FS;±0.005% FS,在 1% FS 以下 | ±0.5% 读数,从 5% 到 100% FS;±0.025% FS,在 5% FS 以下 |
型号和配件:
配件 | 描述 |
---|---|
molbloc-L 出口 | 工作压力(绝压): |
molbloc-L 高压 | 工作压力(绝压): |
molbloc-L 低压 | 工作压力(绝压): |
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