北京创诚致佳科技有限公司
北京创诚致佳科技有限公司

UNHT³ HTV高温超纳米压痕测试仪


 

·         国际标准:符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 国际标准

高温纳米压痕测试仪是测量小载荷下纳米尺度机械性能的测试系统,温度在 800 °C 以下的薄膜和涂层的硬度和弹性模量。ZG UNHT 技术与独特的加热功能结合,可提供在任何温度下的高稳定性测量解决方案。

新一代的高温纳米压痕测试仪

·         环境条件下ZD热漂移 (< 0.5 nm/min) 和整个温度范围内ZD热漂移 (< 3 nm/min)。

·         最高载荷框架刚度 (>>106 N/m) 和ZD框架柔度 (<<0.1 nm/mN):两套独立的位移和载荷传感器与高精度电容传感器结合,可选择“控制位移”和“载荷控制”模式。

·         高真空系统具有 5 轴磁悬浮涡轮泵和缓冲系统,允许在测量期间关闭初级泵,使振动降至ZD。

·         独特的加热控制系统(3 项ZG待批),采用3 个红外 (IR) 加热器分别用于给压痕针尖、参比针尖和样品进行加热,以及 4 个热电偶用于将样品表面温度控制到 变化在0.1°C 内。

 

技术参数:

载荷

最大载荷

100 mN

载荷分辨率

  6 nN



本底噪音

  0.5 [rms] [μN]*

位移

最大位移

100 μm

位移分辨率

0.003 nm

本底噪音

0.15 [rms] [nm]*


极限真空度

10⁷ mBar

最高温度

800 °C

*理想实验室条件下规定的本底噪音值,并使用减震台。

 


载荷范围: 100 mN分辨率: 6 nN最大深度: 100 μm位移分辨率: 0.003 nm

网站导航