一六仪器多导毛细聚焦XRF

全新上照式设计，采用国内首创、国际领先的多导毛细聚焦X射线光学系统搭配自主研发的EFP算法和高灵敏度X射线检测系统，光束尺寸最小可达5um FWHM，对微电子设备、高级电路板、晶圆微区的镀层厚度和成分自动测试分析中尽显优势，测量精度达纳米级，同时高计数率保证镀层或含量测试结果的精确性及稳定性。

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