苏州卡斯图电子有限公司
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KASTU工具金相显微镜MT-400AH


​MT系列参数





带Z轴测量

型号

MT-100AH

MT-200AH

MT-300AH

MT-400AH

三目镜筒


三目

图像


正像/反像

观察方法


明场、暗场、偏光、微分干涉观察(可选)

目镜


屈光度可调10X(视场数:22mm)、20X(可选)

物镜

明视场

长工作距离物镜

暗视场

所有Plan BD系列镜头(可选)

调焦系统

被测物高度

150mm

200mm

调焦方法

粗微调同轴,左右手柄(粗调:40mm/圈、微调:0.02mm/圈)

照明装置

透射照明

远心照明、无级亮度可调、5W LED光源

反射照明

科勒照明、FA辅助对焦、可调视场光阑、可调孔径光阑、无级亮度可调、LED光源/卤素光源可选

斜照明

LED环型光源/光纤冷光源

载物台

测量范围

100*100mm

150*100mm

200*150mm

300*200mm

金属台尺寸

285*250mm

300*250mm

400*280mm

500*350mm

玻璃尺寸

170*145mm

204*145mm

245*192mm

350*250mm

快速释放装置

标准配置

数字计数器

最小读数

可在1/0.5/0.1μm选择

功能

调零、分中、方向转换、公英制转换、RS232输出

测量精度


(3+0.02L)μm L为测量长度

功耗


45W、85~240VAC 50/60HZ

主机

外型尺寸(W*D*H)mm

445*670*710

480*670*710

607*793*720

720*810*720

重量

50KG

55KG

80KG

110KG


Z轴测量范围: 0-150mm分辨率: 0.0001mm角度范围: 0-360角度分辨率: 0.01水平测量范围: 400mm放大倍数: 1000
MT-400AH工具金相显微镜是苏州卡斯图电子有限公司根据半导体客户研发的一款高精度测量设备。使测量物体准确的对准样品边缘是很重要的,本设备采用新进的光学设计,保证了边缘检测和显微检测。在直线校准中,采用夹线和叉线进行观测,比单纯使用一个直线进行观测所获得的结果更为准确。在主机设计方面,我们致力于增强它与操作人员之间的亲和性以及操作的舒适性。此外,我们还采用了抗疲劳设计,操作人员即使长时间使用,也不会感到疲劳和不适。新近研发的FA照明器具有分光棱镜辅助对焦功能,可提供更锐利的图案。可在Z轴测量期间提供准确对焦,由于不同物镜焦深差异导致的测量误差被降到Z低。两侧均配备了同轴粗/微调手轮,快速度实现对焦,仪器内置高精度光栅尺,可进行准确的3轴测量。

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