LODAS™ – BI12GlassWafe缺陷检查装置

产品介绍：

列真株式会社自创业以来，秉承“挑战"、“创造"、“诚实"的经营理念，为顾客提供可靠、可信的产品和服务。运用激光扫描技术，专门制造、销售半导体材料表面及内部检查、石英玻璃表面检查等检查装置。

特征：

• Glass Wafer的出货检查、过程评价

• 可同时检查表面，背面和内部的缺陷

• 用微分干涉显微镜判断、分析表面和背面的缺陷

• 检查对象：12inch、8inch、6inch、Glass Wafer

• 检查项目：表面和背面的颗粒、内部缺陷

列真公司检查装置的维护、修理

• 定期支持装置安装完成后的性能维持。

• 24小时电话对应，全年无休的安心支持。

• 认真对待客户新的要求。

• 召开技术研讨会和充实各种手册，让顾客能够自行维护和更换零件。

• 提供HDD、激光光源等消耗品的免费诊断服务。