复纳科学仪器(上海)有限公司
复纳科学仪器(上海)有限公司

离子研磨抛光仪

离子束研磨技术是一种非接触式、高精度表面加工技术,它利用高能或低能离子束在材料表面进行破坏和移除,使表面的原子和分子发生微小的位移和变形,从而实现对表面的精细加工。


智能便捷的使用体验


先进的操作界面提供了从初学者到专家用户的最佳操作模式。并且 SEMPrep2 提供了全自动的预设参数,使得用户可以一键进行几乎无需干预的样品制备。用户也可以无限制地创建、编辑、保存和加载众多参数文件(可与您的合作方共享这些参数文件!)。出厂的软件中可根据您的样品需求包含适配的预设参数。


block_02.jpg


“快速且无损”


基于 Technoorg Linda 离子枪技术,SEMPrep2 的两支离子枪提供了市面上最广的能量范围。在超高能量范围中(10 keV 以上),该系统可达到极高的溅射速率。进行快速高能量研磨之后,低能离子枪可用来轻柔地清洁样品表面,以获得完全光滑无损的样品表面。


block_03.jpg


样品冷却


为了满足所有可能存在的需求,SEMPrep2 提供了两种不同的冷却方式选项:

  1. 建议对热敏感或冷冻样品进行液氮冷却。使用此选项,可以大大降低样品温度并将其控制在零度以下范围内。

  2.  珀耳帖冷却(电制冷)是防止过热的轻柔保护,它有助于将样品保持在室温附近。


block_04.jpg


快速自动的换样过程


独特的真空锁和电动样品台设计提供了快速、简便的换样操作,且不需要太多的人为操作。 真空锁可保护工作腔中的真空度,从而为用户节省大量时间和精力。


block_05.jpg


独特的样品台范围


为了便于使用,SEMPrep2 提供了各种各样的样品台。

对于截面抛削,可以使用 30°、45° 和 90° 的预倾角样品台。专业用户和特殊应用可使用精度为 2 μm 的电动样品台。
新一代的平面抛光样品台可提供令人印象深刻的研磨面积,其研磨面积即使是工业用户也满足需求。


block_06.jpg



离子束研磨技术是一种非接触式、高精度表面加工技术,它利用高能或低能离子束在材料表面进行破坏和移除,使表面的原子和分子发生微小的位移和变形,从而实现对表面的精细加工。
离子研磨仪和扫描电镜在半导体失效分析中的应用案例分享
如何正确选择不同功能的扫描电镜?扫描电镜选型指南
扫描电镜和离子研磨仪在电子器件失效分析中的应用案例
离子研磨仪助力 SEM 观测更真实的样品表面
离子研磨仪和扫描电镜-失效分析研究的好搭档
扫描电镜金属材料失效分析中的应用——观察金属件微裂纹和孔洞
离子研磨仪扫描电镜样品制备在页岩气中的应用
热线电话 在线咨询

网站导航