MDPinlinescan在线寿命和电阻率逐行扫描仪

MDPlinescan被设计成一个易于集成的OEM单元，用于集成到各种自动化检测上。关键测量是少子寿命扫描。样品通常由测量探头下面的传送带或机器人系统传送。应用实例范围从砖块到晶片检查，测量速度小于每晶片一秒。电池生产线的进料质量调查是常见的应用案例，以及在钝化和扩散之后的工艺质量检查，在许多其他的专业应用领域也有很大的可能性。只需要集成以太网连接和电源就可以了。包括附加电阻率测量选项。

优势

。在µ-PCD或稳态激发条件下测量少子寿命和电阻率线扫描是该仪器设计的ZD。
。集成OEM单元的生产，用于多晶或单晶硅晶片在不同工艺阶段直至器件、砖块或锭子的生产线的整合。
。小尺寸和标准自动化接口易于集成。ZD在于测量结果的长期可靠性和精密度。