Nikon NSR-I12 I线步进式光刻机

I线步进式光刻机 / I-line stepper，
型号：Nikon NSR-I12

技术指标及功能

广泛应用于生产线，是6英寸，8英寸等主力I线生产机台，适用于I线光刻胶的曝光，操作简单，曝光精度准，解析力zui高可达0.35UM （350NM）