使多功能光掩模制造
具有无与伦比的灵活性
FPS6100传递的画面质量和生产效率有所提高，符合当下更为先进的多功能市场细分的要求。
许多应用和生产环境可以设置FPS6100：电子包装、触摸屏、滤色镜、精细的金属膜片、3D模具等等。这意味着你可以充分利用现行产品体系，同时瞄准新的商机。
与之前的FPS5500相比，FPS6100能够提供更高的曝光速度以及更优质的画面质量。如果您的FPS系统是老一代的，您可以将它升级至FPS6100系列，不仅节省成本同时提高经营的能力和质量。
主要优势：
· 生产效率提高，曝光速度更快，减少辅助操作时间
· 画面质量更优质，更小的成像单位
· 6种曝光水平和干板曝光的平台可扩展性
· FPS5100/5300/5500可升级
技术指标
FPS6100 | Lvl 80 | Lvl 60 | Lvl 40 |
曝光速度[mm²/min] | 525 | 1250 | 2600 |
最小L/S 溶解（pitch/2） | 0.75 | 1.2 | 2.0 |
CD均匀性3σ [nm] | 30 | 40 | 60 |
套合3σ[nm] | 70 | 85 | 100 |
最大掩膜尺寸 [mm] | 813x813* | ||
FPS6100 | Lvl 25 | Lvl 20 | Lvl 15 |
曝光速度[mm²/min] | 6000 | 8000 | 12000 |
最小L/S 溶解（pitch/2） | 3.5 | 5.0 | 7.0 |
CD均匀性3σ [nm] | 80 | 100 | 200 |
套合3σ[nm] | 120 | 140 | 160 |
最大掩膜尺寸 [mm] | 813x813* | ||
FPS6100E | Lvl 25 | Lvl 20 | Lvl 15 |
曝光速度[mm²/min] | 5000 | 8000 | 12000 |
最小L/S 溶解（pitch/2） | 6.0 | 8.0 | 12.0 |
CD均匀性3σ [nm] | 600 | 700 | 900 |
套合3σ[nm] | 120 | 140 | 160 |
最大掩膜尺寸 [mm] | 813x813* | ||
* 掩膜可伸展尺寸到达可选择的1100×1100 和 900×1200
技术指标
FPS6100 | Lvl 80 | Lvl 60 | Lvl 40 |
曝光速度[mm²/min] | 525 | 1250 | 2600 |
最小L/S 溶解（pitch/2） | 0.75 | 1.2 | 2.0 |
CD均匀性3σ [nm] | 30 | 40 | 60 |
套合3σ[nm] | 70 | 85 | 100 |
最大掩膜尺寸 [mm] | 813x813* | ||
FPS6100 | Lvl 25 | Lvl 20 | Lvl 15 |
曝光速度[mm²/min] | 6000 | 8000 | 12000 |
最小L/S 溶解（pitch/2） | 3.5 | 5.0 | 7.0 |
CD均匀性3σ [nm] | 80 | 100 | 200 |
套合3σ[nm] | 120 | 140 | 160 |
最大掩膜尺寸 [mm] | 813x813* | ||
FPS6100E | Lvl 25 | Lvl 20 | Lvl 15 |
曝光速度[mm²/min] | 5000 | 8000 | 12000 |
最小L/S 溶解（pitch/2） | 6.0 | 8.0 | 12.0 |
CD均匀性3σ [nm] | 600 | 700 | 900 |
套合3σ[nm] | 120 | 140 | 160 |
最大掩膜尺寸 [mm] | 813x813* | ||
* 掩膜可伸展尺寸到达可选择的1100×1100 和 900×1200
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
仪器网(yiqi.com)--仪器行业网络宣传传媒
热线电话
在线咨询
长按识别二维码查看信息详情