主要功能:
。最小描绘尺寸:0.7um
。最小直写尺寸:20nm
。5种描绘模式
。可转换成自动描绘模式
。进阶3维绘画方式
。里测/校直用照相机系统
。选择线上(Online)传送绘画数据
。自动基板加载系统
。多种多样的绘画数据输入格式(DXF,CIF,GDSLL,Gerber,STL)
。Stage Map补正
。Edge detectof unit
应用范围:
。Micro-optics
。MEMS
。Display
。Micro-sensor
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