深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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德国海德堡Heidelberg DWL 8000 高级大型2D,3D直写设备

主要功能:

。最小描绘尺寸:0.7um

。最小直写尺寸:20nm

。5种描绘模式

。可转换成自动描绘模式

。进阶3维绘画方式

。里测/校直用照相机系统

。选择线上(Online)传送绘画数据

。自动基板加载系统

。多种多样的绘画数据输入格式(DXF,CIF,GDSLL,Gerber,STL)

。Stage Map补正

。Edge detectof unit



应用范围:

。Micro-optics

。MEMS

。Display

。Micro-sensor


搭配海德堡的精密软件控制可以让您在大面积范围中,也可以瞄写2维和3维图形的DWL 8000系列,是针对微光学领域的2维和3维的微构造形式所制作。

对于激光图形生成器,MEMS,Displays 和sensors 都有加宽,加高的设计。DWL 8000精确的温度控制,动态的焦点追踪,closed loop位置决定,确保wan美布置和完全覆盖性的直写范围。

DWL 8000多年的经验累积,使Gray Scale曝光技术,可以更有效率于更小的系统上直写更大的区域范围。在使用高分辨率技术掩模板上,使用曝光强度经过调整的激光,可在连续表面上形成1个复杂的3维样式。
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