SUSS光刻机用曝光灯HBO系列

SUSS，EVG, OAI等系列光刻机用曝光灯HBO系列

详细介绍

SUSS苏斯，EVG, OAI公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机，目前得到业界的广泛认同，该系列光刻机曝光系统的曝光灯，主要是由德国欧司朗及日本牛尾公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗/牛尾曝光灯系列，具备良好的光通量，稳定的光强度以及优质的品质受到业界的青睐。目前供苏斯光刻机配套的相关参数如下：

HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography

适用SUSS苏斯光刻机型的曝光灯

灯管型号     寿命（H）   适用SUSS苏斯光刻机型

HBO 200W/DC   1000H      MJB3, MJB4

HBO 350W/S    600H       MA4, MA6, MA/BA6,MA8, MA150, MJB3, MJB21,UV300/500

HBO 1000W/D  1000H       MA150,MA200,MA4,MA6, MA/BA6,MA8

HBO 5000W/S  1000H       MA300

以下是欧司朗曝光灯的技术参数,适用于SUSS苏斯，EVG, OAI等光刻机：