深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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英国Quorum Q150T PLUS 镀金镀碳一体机

英国Quorum Q150T PLUS 镀金镀碳一体机

Q150T Plus是一款优化设计的带涡轮分子泵抽真空的镀膜设备,真空度可达5x10-5mbar。可以溅射具有超细成膜颗粒的易氧化金属,适用于高分辨率成像。同样地,低散射可得到均匀而致密的无定形碳膜。
溅射贵金属和易氧化金属推荐放大倍数:
。 Au、Au/Pd可达5万倍
。Pt可达10万倍
。Cr、Ir可达10万倍以上
非常适合薄膜应用,例如镀ITO、W、Al、Zn等
Q150T E和ES PLUS使用碳棒头作为标准配置

Q150T Plus具有三种型号

技术规格

推荐应用
。 扫描电镜高分辨率放大应用
。FIB中镀保护性铂层
。腐蚀、摩擦和磨损保护层的研发
。医疗设备上的保护层
。 BSE成像
。EDX, WDS, EBSD分析
。 蒸镀碳覆型膜
Q150T Plus 功能特点
全新升级的用户界面:
。 电容式触摸屏,灵敏度高,更易触控使用
。用户界面软件全面更新,使用现代智能技术界面
。全面的文字帮助页面
。 USB接口可轻松进行软件更新和数据备份
。log文件格式为.csv,内含日期、时间和工作参数,导出后可在Excel或类似软件中分析
。16GB的闪存可储存超过1000条镀膜方案
。 双核ARM处理器,可实现快速响应的显示
允许多用户输入和储存镀膜方案,并根据最近的使用来排列每个用户的方案。
智能逻辑系统自动识别插入头,并显示相应的操作设置和控制。系统提示用户确认靶材,然后自动为该材料选择合适参数。
直观方便的软件,即使新手也能快速输入和存储其处理参数,创建自己的镀膜程序,且系统已存储典型的溅射和镀碳程序可供直接调用。如果软件检测到在一段时间内无法达到设定真空度,系统会终止程序,以防真空泵过热。
Q150T Plus是Quorum Technologies出品的国际认可的Q系列镀膜仪的一部分,全 球数千家客户使用此类镀膜仪。Q系列旨在为SEM、TEM和薄膜应用提供高质量的镀膜解决方案,Q系列功能多样、价格合理且易于使用。这些产品专 供科研用途。
可控斜坡碳棒蒸发
无论是否选用FTM,精细蒸发可准确控制碳膜厚度。通过消除一般镀膜仪普遍存在的“火花”,提高了所镀碳膜质量。对于可复制的高质量碳膜,建议
使用塑形碳棒,其纯度高,不易产生碎屑,更易控制。脉冲和斜坡碳棒蒸发已作为标准镀碳程序。
磁控冷溅射
溅射镀膜技术用途很广。虽然采用高电压、低真空且无自动化也可溅射镀膜,但这些落后技术会使样品过热,等离子体与样品强烈作用会损坏样品,并不适合电镜应用。Q150T  Plus采用低温增强型等离子磁控技术,并优化了涡轮分子泵压强,整合了低电流和沉积控制,以确保样品得到保护和成膜均匀。
Q150T S Plus和Q150T ES  Plus换靶便捷,可溅射易氧化金属和贵金属,标配铬(Cr)靶。可选:Au、Au/Pd、Pt/Pd、Pd、Pt、Cu、Ir、W、ITO等。
脉冲清洁用于溅射Al铝会迅速形成氧化层,难以去除,但Q150T ES&S Plus具有特殊的铝靶程序,可减少去除时间并防止靶材过度预溅射。

 


Q150T Plus性能对比
Q150T Plus功能特点
Examples of stages, shown with optional FTM


Quorum涡轮分子泵抽真空镀膜仪Q150T PLUS,是一款优化设计的带涡轮分子泵抽真空的镀膜设备,真空度可达5x10-5mbar。可以溅射具有超细成膜颗粒的易氧化金属,适用于高分辨率成像。同样地,低散射可得到均匀而致密的无定形碳膜。
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