深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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全自动双面紫外皮秒激光晶圆划线机

全自动双面紫外皮秒激光晶圆划线机


设备简介:晶圆划线设备是晶元制程中不可缺少的一道工序,取代原有的工序(匀胶、曝光、显影)。

设备亮点:

可兼容4寸、 5寸、6寸等多种不同规格产品加工
双工位同时加工,效率提升3倍
采用双皮秒激光器兼容产品正反面及多面同时加工,有效保证加工效果
配套晶圆机械手自动上下料,有效减少人工成本
配套高精度视觉定位及检测,有效保证加工精度和检测结果
自动分拣及回收NG产品,根本解决人工分拣低效的问题




全自动双面紫外皮秒激光晶圆划线机,是晶元制程中不可缺少的一道工序,取代原有的工序(匀胶、曝光、显影)
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