IB-19520CCP 截面样品抛光仪
IB-19520CCP在加工过程中利用液氮冷却，能减轻离子束对样品造成的热损伤。冷却持续时间长、液氮消耗少的构造设计。在装有液氮的情况下，也能将样品快速冷却、恢复到室温，并且可以拆卸。配有传送机构，在隔离空气的环境下能完成从加工到观察的全过程。
产品规格：
离子加速电压 | 2 ～ 8 kV |
离子束直径 | 500 um( FWHM) |
研磨速率 | 500 um（两小时的平均值、8 kV、硅材质换算、突出量:100 um） |
样品架冷却达到的温度 | -120 ℃ |
样品冷却持续时间 | 8小时以上 |
制冷箱容量 | 约1升 |
承载样品的最大尺寸 | 11mm(长) × 8mm（宽）× 3mm（厚） |
样品台移动范围 | X轴：±6mm、Y轴：±2.5mm |
固定样品方法 | 夹式 |
样品加工摆角 | ±30° |
加工观察用相机的倍率 | 约20～100倍（6.5寸显示器上） |
空气隔离系统 | 转移舱 |
空气隔离法 | 将舱内设定成氩气气氛，盖上转移舱盖子，将样品封在舱里。 |
操作方法 | 触控屏、6.5寸显示器 |
使用气体 | 氩气(用质量流量控制器控制流量) |
压力测试 | 潘宁真空计 |
主抽真空系统 | 涡轮分子泵 |
辅助抽真空系统 | 机械泵 |
尺寸、重量 | 主机：约670mm (宽) × 720mm(长) × 530mm(高)、约73kg |
选配件 | 大型旋转样品架（IB‐11550LSRH)、（IB‐11550LSRH) |
电源 | 单相100～120 V±10%、50/60 Hz、0.6 kVA |
接地线 | 独立地线(100 Ω以下) |
氩气 | 使用压力：0.15±0.05 MPa(1.0 ～ 2.0 kg/cm²) |
室温 | 15～25 ℃ |
湿度 | 60%以下 |
产品特点：
★ 冷却的效果 样品：镀锌钢板
· 可提供500μm/h（8KV/2小时的平均值）的研磨速率。
· ※ 通常加工（无冷却）时，铁和锌的接合面上能够观察到间隙，而冷却加工时则没有间隙
· ★ 使用温度控制系统（选配件）冷却 样品：硅晶片接合面
· ※ 常规加工由于热损伤造成粘合剂变形，出现了很大的间隙。 -150 ℃时，冷却过度，能观察到胶粘剂和硅晶片研磨面的接合面上出现了间隙，但通过温度控制冷却则没有间隙。
· ★ 合理利用间歇加工、冷却功能和温度控制冷却功能可支持各种样品的制备
· 
· ★ 进程监控功能
· 截面加工状态可通过CCD相机实时监控，倍率还可调整。
· ★ 防止充放电的喷镀功能
· 备有离子束溅射功能（选配项），可以喷涂颗粒感良好的薄涂层。最适合于象EBSD等需要花样识别等情况。
· ★ 平面离子减薄样品架
· 以小角度的离子束低角度照射样品，达到清除表面污垢、平滑表面等效果。另外也非常适合于选择性蚀刻。
· ★ 截面样品制备单元
· 安装在平面离子减薄样品架上使用。该单元可用于在旋转样品的同时进行离子束加工。可以用来制备象多孔质材料、粉末、纤维等容易出现加工条纹的样品的截面。
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
仪器网(yiqi.com)--仪器行业网络宣传传媒
热线电话
在线咨询
长按识别二维码查看信息详情