IB-09060CIS™ 低温冷冻离子切片仪
易受热损伤的样品，也能方便地制作出薄膜样品和截面样品。冷却保持时间长，有效地抑制了热损伤。
· 产品规格
IB-09060CIS | |||
离子加速电压 | 1 ～ 8kV | ||
倾斜角 | 最大±6º(0.1º/步) | ||
离子束直径 | 500μm(FWHM) | ||
研磨速率 | 5μm/min(加速电压:8kV、Si换算) | ||
使用气体 | 氩气 | ||
最大样品尺寸 | 2.8mm(长度)×1.0 mm(宽度)×0.1mm(厚度) | ||
样品冷却 | 样品架冷却温度 | -120℃ | |
冷却到达时间 | 1小时 | ||
冷却保持时间 | 8小时 | ||
样品取出时间 | 30分钟 | ||
压力测试 | 潘宁规 | ||
主抽真空系统 | 涡轮分子泵 | ||
CCD相机 | 内置 | ||
尺寸 重量 | 主机 | 500mm(W)×600mm(D)×542mm(H)、70kg | |
机械泵 | 150mm(W)×427mm(D)×230.5mm(H)、16kg | ||
液晶显示器 | 326mm(W)×173mm(D)×380mm(H)、3.7kg | ||
· 安装条件
IB-09060CIS | |
电源 | 单相100 ～ 120V±10%、50/60Hz、0.5 ～ 0.6kVA |
接地线 | 独立地线(100Ω以下) |
氩气 | 使用压力: 0.15±0.05MPa(1.0 ～ 2.0kg/cm²) |
室温 | 20 ～ 25℃ |
湿度 | 60% 以下 |
· *产品外观及技术规格可能未经预告而有所变更。
产品特点：
· 带有样品冷却系统，对容易受热损伤的样品也可以进行截面制备的离子切片仪。
· ①通过液氮制冷，减轻了离子照射时对样品造成的热损伤。
· ②可以用于制备TEM的薄膜样品和SEM的截面样品*
· ③冷却保持时间长，大大减少了热损伤。
· ④在装有液氮的情况下，也可以交换样品。
· *最大样品尺寸:2.8mm(长度)×1.0 mm(宽度)×0.1mm(厚度)。
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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